[实用新型]共聚焦拉曼光谱仪及其光路装置

权利要求书

1.一种共聚焦拉曼光谱仪的光路装置，其特征在于，包括在光路上依次设置的下述结构：

激发光源系统，所述激发光源系统包括激发光源和扩束镜；

拉曼滤光片组，所述拉曼滤光片组具有一侧接收水平入射光并在另一侧形成与入射光垂直的出射光的滤光片结构；

显微镜系统，所述显微镜系统包括分别设置于所述拉曼滤光片组样品出射光一侧的显微物镜和设置于所述拉曼滤光片组的样品出射光对侧的管镜；

单色仪，来自所述管镜汇聚的拉曼信号射向所述单色仪；以及

单光子计数器，所述单光子计数器探测来自所述单色仪的拉曼信号，

其中，从所述激发光源发出的激光由所述扩束镜扩束，穿过所述拉曼滤光片组至所述显微物镜，并通过所述显微物镜将所述激光聚焦在样品上并激发出拉曼信号，所述拉曼信号经过所述显微物镜后变成平行光再通过所述拉曼滤光片组滤掉瑞利散射，此后经过所述管镜聚焦于所述单色仪的入射狭缝处，并被出射狭缝处的所述单光子计数器探测。

2.根据权利要求1所述的共聚焦拉曼光谱仪的光路装置，其特征在于，所述拉曼滤光片组包括垂直放置的窄带滤光片、二向分光部件和水平放置的瑞利滤光片，所述显微物镜设置于所述二向分光部件出射光一侧，所述管镜设置于所述瑞利滤光片的出射光一侧。

3.根据权利要求2所述的共聚焦拉曼光谱仪的光路装置，其特征在于，所述二向分光部件为45°平面反射镜。

4.根据权利要求1所述的共聚焦拉曼光谱仪的光路装置，其特征在于，所述光路装置还包括一次或多次反射装置，所述反射装置接受来自所述管镜汇聚的拉曼信号并将其反射至所述单色仪。

5.根据权利要求4所述的共聚焦拉曼光谱仪的光路装置，其特征在于，所述反射装置为平面反射镜。

6.根据权利要求1所述的共聚焦拉曼光谱仪的光路装置，其特征在于，所述显微物镜采用复消色差平场无穷远金相显微物镜。

7.根据权利要求6所述的共聚焦拉曼光谱仪的光路装置，其特征在于，所述显微物镜的数值孔径NA为0.4以上。

8.根据权利要求6所述的共聚焦拉曼光谱仪的光路装置，其特征在于，所述光路装置还包括固体样品成像系统，所述固体样品成像系统包括推拉反射装置、CCD成像装置，所述推拉反射装置带有滑动装置，当固体样品需实现对焦，所述推拉反射装置移动至光路中，完成对焦后，所述推拉反射装置移出光路。

9.根据权利要求8所述的共聚焦拉曼光谱仪的光路装置，其特征在于，所述CCD成像装置中的CCD靶面到所述管镜的距离和所述单色仪的入射狭缝到所述管镜的距离相等。

10.根据权利要求1所述的共聚焦拉曼光谱仪的光路装置，其特征在于，聚焦在所述样品上的光斑的直径为1.6μm以下。

11.根据权利要求10所述的共聚焦拉曼光谱仪的光路装置，其特征在于，所述扩束镜实现7倍以上的扩束。

12.根据权利要求1所述的拉曼光谱仪光路装置，其特征在于，所述单色仪系统的入射狭缝宽度为32-40μm。

13.一种共聚焦拉曼光谱仪，其特征在于，包括权利1-12任一项所述的光路装置。