[实用新型]基于光声效应稳定光泵气体THz激光器输出的稳频装置

权利要求书

1.一种基于光声效应稳定光泵气体THz激光器输出功率和频率的稳频装置，其特征在于包括泵浦激光器(1)、红外探测器(2)、THz谐振腔(3)、THz功率计(4)、分束器(5)、光声探测装置(6)、激光器电源(7)、以及由锁相放大器(8)、第一PZT驱动器(9)、第二PZT驱动器(10)和计算机(11)构成的反馈控制系统(22)；所述THz谐振腔(3)内包括ZnSe窗口(12)，第一PZT(13)，凹面镀金全反镜(14)，光声探测装置(6)，THz激光输出镜(15)，抽充气接口(16)；所述泵浦激光器(1)包括谐振腔中的光栅(17)，第一全反镜(18)和第二全反镜(21)，第二PZT(19)和输出镜(20)；

所述泵浦激光器(1)输出的激光通过分束器(5)分为两路，一路垂直入射到红外探测器(2)，另一路则进入THz谐振腔(3)中；THz谐振腔内的光声探测装置(6)与反馈控制系统(22)中锁相放大器(8)连接；锁相放大器分别与激光器电源(7)和计算机(11)连接，计算机还分别与第一PZT驱动器(9)和第二PZT驱动器(10)连接，并分别控制第一PZT(13)和第二PZT(19)。

2.根据权利要求1所述的稳频装置，其特征在于所述光声探测装置(6)采用光声感应功能材料或微音器进行光声信号探测，所述微音器包括硅微电容式微音器、或硅微压电式微音器、或悬臂式微音器，或超声波压电陶瓷微音器。

3.根据权利要求1所述的稳频装置，其特征在于所述泵浦激光器(1)采用Z型折叠腔的射频激励板条波导CO₂激光器，其激光器电源(7)采用射频电源作为工作电源。

4.根据权利要求1或3所述的稳频装置，其特征在于所述泵浦激光器(1)谐振腔内第二PZT(19)通过反馈控制系统(22)中的第二PZT驱动器驱动(10)以改变其腔长，并通过泵浦激光器谐振腔内的光栅(17)选支。

5.根据权利要求1所述的稳频装置，其特征在于所述的THz谐振腔(3)采用平-凹谐振腔，泵浦激光输入采用小孔耦合输入方式，即采用一个中间有小孔的凹面镀金全反镜(14)，其背面放置第一PZT(13)。

6.根据权利要求1或5所述的稳频装置，其特征在于所述THz激光输出镜(15)采用对射频激励板条波导CO₂激光高反，而对THz激光部分透过的平面镜。

7.根据权利要求1或2所述的稳频装置，其特征在于所述光声探测装置(6)采用硅微电容式微音器(23)，并将其置于THz谐振腔(3)的中间位置，用于探测其谐振腔内的声信号；并使硅微电容式微音器(23)开口与THz谐振腔(3)管壁平齐。