[实用新型]卧式双端口平面斐索干涉测试装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及斐索平面干涉测试装置，特别是一种卧式双端口斐索平面干涉测试装置，可用于测试φ600mm口径以下平面光学元件反射面形、透射面形、光材料折射率均匀性等参数干涉测试分析装置。

背景技术

干涉检测装置在光学元件反射面形检测、透射面形检测、光学材料质量分析以及光学系统评价等领域均有广泛应用。随着精密光学元件加工工艺技术的迅速发展，采用干涉检测装置代替传统的对样板、看刀口等检测方法成为未来光学元件面形检测的必然发展趋势。尤其是随着大口径光学领域的发展对大口径干涉仪检测装置提出了必然的需求。因此，近年来对于大口径高精度面形干涉检测的研究与工程化正成为光学检测领域的重点课题之一。

采用干涉检测装置进行光学检测具有非接触、可分析、操作便捷等特点，但是由于光学元件的种类、大小等千差万别，干涉检测装置不可能通用于所有光学元件的检测。而对于平面光学元件的面形等参数的检测分析主要受到干涉测试口径的限制，国内外从上世纪80年代开就开展的φ150mm口径以下的干涉检测研究，也形成了以下几种固定口径如φ30mm、φ60mm、φ100mm、φ150mm等干涉测试装置。但是对于再大口径的相关研究一直到2000年前后才出现φ300mm口径干涉检测装置，而且该类测试装置还受限于标准参考镜的面形精度。对于φ600mm口径的大口径干涉仪检测装置国内至今相关研究报道很少，国外目前也只有美国具有相关研究报道，但关键技术尤其是系统集成技术和标准参考镜面形精度保障技术还在研究中。在追求φ600mm大口径干涉测试达到高精度、高分辨率的同时并兼顾小口径测试的相关报道更少。因此这相关方面的研究成为了研究大口径平面光学元件测试的主要难点之一，相关进展在国内外也都尚在进行中，而采用双端口模块化结构实现φ24mm～φ600mm口径平面元件高精度、高分辨率干涉测试则少有相关报道。

实用新型内容

本实用新型的目的是，提供一种用于检测平面光学元件的卧式双端口斐索干涉测试装置。该干涉测试装置可以为测试平面光学元件反射面形、透射面形、光材料折射率均匀性等参数提供必须的测试分析装置。该干涉测试装置通过变焦成像模块的5倍连续变倍成像功能，可实现φ24mm～600mm口径范围所有口径光学元件的面形检测以及材料质量分析。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种卧式双端口平面斐索干涉测试装置，特点在于其构成包括激光光源模块、大测试端口模块、小测试端口模块、变焦成像模块和测试对准模块：

所述的激光光源模块包括632.8nm的标准激光光源和凸透聚焦物镜组，沿激光光源输出光束方向依次是凸透聚焦物镜组和第一45°分光反射镜；

所述的小测试端口模块由沿光束前进方向依次的第一45°分光反射镜、第二45°分光反射镜、45°切换反射镜、φ120mm口径凸透准直物镜组、φ120mm口径透射标准平面镜和φ120mm口径反射标准平面镜构成，所述的第一45°分光反射镜、第二45°分光反射镜和45°切换反射镜与光路的夹角为45°，所述的φ120mm口径凸透准直物镜组的数值孔径与所述的凸透镜聚焦物镜组的数值孔径相等，且φ120mm凸透准直物镜组的焦点与所述的凸透聚焦物镜组对所述的标准激光光源输出平行光聚焦焦点重合，所述的φ120mm口径透射标准平面镜在光束前进方向上第一面为楔角面，第二面为标准平面参考面，且面形精度PV值优于30nm，该标准平面参考面垂直于φ120mm口径凸透准直物镜组的光轴，所述的φ120mm口径反射标准平面镜在光前进方向上的第一面为反射标准参考面，且面形精度PV值优于30nm，该φ120mm口径反射标准平面镜垂直于φ120mm口径凸透准直物镜组的光轴，与φ120mm口径透射标准平面镜参考面形成标准干涉测试腔，被测试光学元件置于φ120mm口径透射标准平面镜的标准平面参考面与φ120mm口径标准反射平面镜的反射参考面之间，实现干涉测试；