[实用新型]飞秒激光微形貌加工装置

权利要求书

1.一种飞秒激光微形貌加工装置，其特征在于，

包括自动化机械手和飞秒激光装置；

所述自动化机械手的夹持器对所述飞秒激光装置进行夹持；

所述飞秒激光装置包括飞秒激光器、中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜，沿所述飞秒激光器射出的激光输出光路上依次设置有中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜。

2.根据权利要求1所述的飞秒激光微形貌加工装置，其特征在于，所述自动化机械手包括夹持器、底座、移动座、旋转台、第一臂、第二臂及第三臂；

所述移动座可滑动的设置在所述底座上，所述旋转台可转动的设置在所述移动座上，所述第一臂的一端可转动的设置在所述旋转台上，所述第一臂的另一端与所述第二臂的一端铰接，所述第二臂的另一端与所述第三臂的一端铰接，所述第三臂的另一端固定有夹持器；

所述第一臂相对旋转台的转动轴、第二臂相对第一臂的转动轴及第三臂相对第二臂的转动轴相互平行。

3.根据权利要求2所述的飞秒激光微形貌加工装置，其特征在于，所述飞秒激光器为输出脉冲宽度为5～500fs；波长为800nm；脉冲重复频率为1～1000kHz；单脉冲最大能量1μJ～500mJ的飞秒激光器。

4.根据权利要求3所述的飞秒激光微形貌加工装置，其特征在于，所述飞秒激光器为输出脉冲宽度为150fs、波长为800nm、脉冲重复频率为1kHz、单脉冲最大能量50μJ的飞秒激光器。

5.根据权利要求4所述的飞秒激光微形貌加工装置，其特征在于，所述飞秒激光器为输出脉冲的能量密度为3.1×10¹³W/cm²的飞秒激光器。

6.根据权利要求3所述的飞秒激光微形貌加工装置，其特征在于，所述飞秒激光器为输出脉冲宽度为150fs、波长为800nm、脉冲重复频率为1kHz、单脉冲最大能量2mJ的飞秒激光器。

7.根据权利要求6所述的飞秒激光微形貌加工装置，其特征在于，所述飞秒激光器为输出脉冲的能量密度为8.2×10⁹W/cm²的飞秒激光器。