[实用新型]一种全封闭多功能复合渗注镀膜机有效
| 申请号： | 201520244448.8 | 申请日： | 2015-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN204644461U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 鄢强;宋慧瑾 | 申请（专利权）人： | 成都金倍科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 李林合 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高新区*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 封闭 多功能 复合 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种全封闭多功能复合渗注镀膜机，其特征在于：包括真空室、真空获得系统、圆柱靶、离子源、工件偏压、行星式公自转架、遮挡机构、气体输入机构、加热机构和各功能区电源。
2. 如权利要求1所述的镀膜机，其特征在于：圆柱靶是靶管旋转柱靶或磁场旋转柱靶；靶管旋转圆柱靶有三个及以上。
3. 如权利要求1所述的镀膜机，其特征在于：圆柱靶以可镀工件区的中心为圆心形成单圆环、中心单圆环或双圆环均匀分布。
4. 如权利要求1所述的镀膜机，其特征在于：圆柱靶内磁轭上至少均布有三列磁铁，每个磁轭上磁铁的N级和S级间隔放置；相邻柱靶内磁轭上的近邻磁极磁性相反。
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