[实用新型]一种带有过渡结构的复合分子泵

权利要求书

1.一种带有过渡结构的复合分子泵，包括涡轮级、筒式牵引级和驱动主轴，所述涡轮级包括静叶片和动叶轮，所述筒式牵引级包括牵引转子和定子，所述动叶轮及牵引转子固定套装在驱动主轴上，其特征在于：在所述动叶轮与牵引转子衔接处设置有过渡结构。

2.根据权利要求1所述的一种带有过渡结构的复合分子泵，其特征在于：所述过渡结构设置为短涡轮叶片、盘式牵引结构件或螺旋槽牵引结构件。

3.根据权利要求2所述的一种带有过渡结构的复合分子泵，其特征在于：当所述过渡结构采用短涡轮叶片时，所述牵引转子为光筒，定子内开设螺旋槽，短涡轮叶片与牵引转子固定连接，在与短涡轮叶片轴向对应的牵引转子上开设有通气倒角。

4.根据权利要求2所述的一种带有过渡结构的复合分子泵，其特征在于：当所述过渡结构采用盘式牵引结构件时，所述牵引转子为光筒，定子内开设螺旋槽，盘式牵引结构件与牵引转子固定连接，在盘式牵引结构件上开设有型线沟槽。

5.根据权利要求4所述的一种带有过渡结构的复合分子泵，其特征在于：所述型线沟槽的线型为阿基米德螺线、对数螺线或圆弧线。

6.根据权利要求2所述的一种带有过渡结构的复合分子泵，其特征在于：当所述过渡结构采用螺旋槽牵引结构件时，所述定子为光筒，牵引转子上开设有螺旋槽，螺旋槽牵引结构件与牵引转子固定连接，在螺旋槽牵引结构件上开设有辅助过渡螺旋槽，所述辅助过渡螺旋槽的槽深及槽宽大于牵引转子上螺旋槽的槽深及槽宽。