[实用新型]一种阴阳极同步频振式强磁辅助电沉积加工装置

权利要求书

1. 一种阴阳极同步频振式强磁辅助电沉积装置，其特征在于：包括反应釜（1）、振动组件（2）、磁控组件（3）、机械搅拌器（4）、阳极基体（5）、阴极基体（6）和直流电源（7）；

所述的反应釜（1）包括主体（11）和顶盖（12）；主体（11）内设有保温层（11-1）和用于加热线圈（11-2）；顶盖（12）的中间处设有上下向贯通的通孔；

振动组件（2）包括振动控制器（21）、振动杆（22）、阳极挂具（23）、阴极挂具（24）和磁体挂具（25）；振动杆（22）的上端与振动控制器（21）传动连接；振动杆（22）的下端穿过反应釜（1）的顶盖（12）的通孔向反应釜（1）的主体（11）内伸出；阳极挂具（23）、阴极挂具（24）和磁体挂具（25）均设置在反应釜（1）的主体（11）内；阳极挂具（23）、阴极挂具（24）和磁体挂具（25）均分别与振动杆（22）固定连接；

磁控组件（3）包括磁场控制器（31）、第一超导体磁体（32）和第二超导体磁体（33）；第一超导体磁体（32）和第二超导体磁体（33）均设置在反应釜（1）的主体（11）内；且第一超导体磁体（32）和第二超导体磁体（33）分左右相对设置；第一超导体磁体（32）为N极，第二超导体磁体（33）为S极；第一超导体磁体（32）和第二超导体磁体（33）均分别与振动组件（2）的磁体挂具（25）固定连接；磁场控制器（31）用于控制第一超导体磁体（32）和第二超导体磁体（33）使得磁场强度在0T至16T范围内连续可调；

机械搅拌器（4）设置在反应釜（1）的主体（11）内；

阳极基体（5）和阴极基体（6）分左右相对设置在反应釜（1）的主体（11）内；阳极基体（5）和阴极基体（6）间的间距范围为2cm至4cm；阳极基体（5）设置在第一超导体磁体（32）的右侧；阴极基体（6）设置在第二超导体磁体（33）的左侧；阳极基体（5）与振动组件（2）的阳极挂具（23）固定连接；阴极基体（6）与振动组件（2）的阴极挂具（24）固定连接；从而使得阳极基体（5）和阴极基体（6）分别通过阳极挂具（23）和阴极挂具（24）与振动杆（22）作同频同向运动；阳极基体（5）和阴极基体（6）分别与直流电源（7）的正极和负极对应电连接。

2.根据权利要求1所述的阴阳极同步频振式强磁辅助电沉积装置，其特征在于：所述的反应釜（1）的顶盖（12）与振动杆（22）之间的间隙为0.8～1.5cm；阳极基体（5）和阴极基体（6）间的间距为2cm；磁控组件（3）的第一超导体磁体（32）和第二超导体磁体（33）间的间距为10cm。

3.根据权利要求1所述的阴阳极同步频振式强磁辅助电沉积装置，其特征在于：所述的磁控组件（3）的第一超导体磁体（32）和第二超导体磁体（33）为电磁铁，且第一超导体磁体（32）和第二超导体磁体（33）朝向电极的一面为圆弧曲面，圆弧半径为50cm，角度为6度至12度。