[实用新型]一种电子工业用氢氟酸的生产系统

权利要求书

1.一种电子工业用氢氟酸的生产系统，其特征在于：包括无水氟化氢预处理装置、反应罐、冷热水循环装置、喷淋吸收液循环装置和多个成品槽，所述无水氟化氢预处理装置包括原料贮瓶和加热水桶，所述原料贮瓶设置在加热水桶中，所述原料贮瓶的出料孔通过管道与一缓冲罐的进料口相连，所述缓冲罐的出料孔通过管道与反应罐的原料进孔相连，所述反应罐内部设有换热盘管和通气管，所述反应罐顶部设有氧化反应添加剂加料管，所述反应罐底部的出料孔处设有微孔膜过滤器，所述微孔膜过滤器通过管道与成品槽相连；所述冷热水循环装置包括储水箱、加热器和循环自吸泵，所述加热器采用夹套的形式设置在所述储水箱的外壁上，所述储水箱通过循环自吸泵与所述反应罐内的换热盘管进水口相连，所述换热盘管出水口通过管道直接连接至储水箱；所述喷淋吸收液循环装置包括吸收液储罐和循环泵，所述吸收液储罐一方面通过管道与所述反应罐的出料管相连接，另一方面通过循环泵连接至反应罐顶端内部的喷淋头，此外还与所述成品槽相连，成品槽通过管道与循环泵相连。

2.如权利要求1所述的一种电子工业用氢氟酸的生产系统，其特征在于，在所述无水氟化氢预处理装置、反应罐和成品槽上设有氢氟酸有毒气体浓度探测和集中报警装置。

3.如权利要求1或2所述的一种电子工业用氢氟酸的生产系统，其特征在于，所述反应罐和成品槽采用碳钢衬聚四氟乙烯材料制成。

4.如权利要求1所述的一种电子工业用氢氟酸的生产系统，其特征在于，所述喷淋吸收液的循环装置所输出的喷淋吸收液为电阻率不低于17MΩ.cm的去离子水。

5.如权利要求1所述的一种电子工业用氢氟酸的生产系统，其特征在于，所述微孔膜过滤器采用不锈钢材料制成，其孔径为0.05微米。

6.如权利要求3所述的一种电子工业用氢氟酸的生产系统，其特征在于，所述反应罐上设有温度传感器和尾气收集管，所述尾气收集管与一尾气吸收塔相连。

7.如权利要求1所述的一种电子工业用氢氟酸的生产系统，其特征在于，所述循环泵选用不锈钢磁力泵。