[实用新型]平板工件的对位装置有效
申请号: | 201520251426.4 | 申请日: | 2015-04-24 |
公开(公告)号: | CN204613595U | 公开(公告)日: | 2015-09-02 |
发明(设计)人: | 代毓平;代童庆 | 申请(专利权)人: | 深圳市大川光电设备有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 曾少丽 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 平板 工件 对位 装置 | ||
1.一种平板工件的对位装置,其特征在于,所述平板工件的对位装置包括气浮传送平台及两对位挡板,所述气浮传送平台包括一气浮传送面,所述两对位挡板分别相接设于所述气浮传送面的两相邻沿边上,形成对位基准结构,所述气浮传送面沿所述对位基准结构的所在方位倾斜向下。
2.如权利要求1所述的平板工件的对位装置,其特征在于,所述气浮传送面为矩形结构,所述对位基准结构为“L”形结构。
3.如权利要求2所述的平板工件的对位装置,其特征在于,所述气浮传送面为多孔材料介质层,且所述多孔材料介质层上开设有若干分布均匀的细微气孔。
4.如权利要求3所述的平板工件的对位装置,其特征在于,所述气浮传送平台还包括一空气泵,所述气浮传送平台的底侧开设有连通各所述细微气孔的进气口,所述进气口与所述空气泵相连。
5.如权利要求3或4所述的平板工件的对位装置,其特征在于,所述多孔材料介质层为陶瓷层或铝金属材料层。
6.如权利要求5所述的平板工件的对位装置,其特征在于,所述气浮传送面为平面设计结构,所述气浮传送平台的底侧设有若干高度调节支脚,以通过分别调节所述若干高度调节支脚的高度使得所述气浮传送面沿所述对位基准结构的所在方位倾斜向下。
7.如权利要求6所述的平板工件的对位装置,其特征在于,所述气浮传送面为斜面设计结构,使得所述气浮传送面沿所述对位基准结构的所在方位倾斜向下。
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