[实用新型]同步移相干涉测量系统有效
| 申请号： | 201520261884.6 | 申请日： | 2015-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN204854620U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 林燕彬 | 申请（专利权）人： | 林燕彬 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350200 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 同步 相干 测量 系统 | ||
1.一种同步移相干涉测量系统，其特征在于：所述同步移相干涉测量系统主要包括激光器(1)、多个分光棱镜、半反半透镜(3)、多个CCD和参考镜(10)，其中，多个分光棱镜包括第一分光棱镜(2)、第二分光棱镜(4)和第三分光棱镜(7)，多个CCD包括第一CCD(5)、第二CCD(6)、第三CCD(8)和第四CCD(9)，所述第一分光棱镜(2)三面分别设置激光器(1)、参考镜(10)和被测镜(11)，激光器(1)、第一分光棱镜(2)和被测镜(11)设置在同一光轴线上，第一分光棱镜(2)的第四面对应参考镜(10)的方向设置有半反半透镜(3)，半反半透镜(3)的两个出射光方向分别对应设置第二分光棱镜(4)和第三分光棱镜(7)，第二分光棱镜(4)对应设置第一CCD(5)和第二CCD(6)，第三分光棱镜(7)对应设置第三CCD(8)和第四CCD(9)。
2.根据权利要求1所述的同步移相干涉测量系统，其特征在于：所述激光器(1)为偏振氦氖激光器。
3.根据权利要求1所述的同步移相干涉测量系统，其特征在于：所述多个分光棱镜为偏振分光棱镜。
4.根据权利要求1所述的同步移相干涉测量系统，其特征在于：所述激光器(1)和第一分光棱镜(2)、第一分光棱镜(2)和半反半透镜(3)之间分别设置有1/2波片(13)。
5.根据权利要求1所述的同步移相干涉测量系统，其特征在于：所述第一分光棱镜(2)和参考镜(10)以及被测镜(11)之间分别设置有1/4波片(12)。
6.根据权利要求1所述的同步移相干涉测量系统，其特征在于：所述第二分光棱镜(4)和第二CCD(6)、第三分光棱镜(7)和第四CCD(9)之间分别设置反射镜(14)。
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