[实用新型]一种平面小功率微波微等离子体圆环形阵列源

权利要求书

1.一种平面小功率微波微等离子体圆环形阵列源，其特征在于，包括：微带传输线同心阵列(1)、中心公共接地点(2)、耦合环(3)、馈电导体(4)和接地导带(5)；其中，

所述微带传输线同心阵列(1)包括至少两条阵列单元(11)；所述阵列单元(11)设置在所述馈电导体(4)的两侧；位于所述馈电导体每一侧的所述阵列单元(11)中的每条通过所述耦合环(3)连接；

所述馈电导体(4)包括至少两根馈电导带(4a，4b)，所述馈电导带(4a，4b)在各自的一端互相连接，每根所述馈电导带(4a，4b)上设置有至少一个馈电点(41)；

所述中心公共接地点(2)设置在两根馈电导带(4a，4b)的连接处；

每条所述阵列单元(11)的一端与所述中心公共接地点(2)连接；

所述馈电导带(4a，4b)与所述阵列单元(11)以中心公共接地点(2)为圆心成圆环形辐射状分布；

所述接地导带(5)包括至少两个接地导块(51)，每个所述接地导块(51)设置于所述阵列单元(11)和所述馈电导带(4a，4b)的远离所述中心公共接地点(2)的另一端，每个所述接地导块(51)与所述阵列单元(11)或所述馈电导带(4a，4b)的另一端端面之间形成缝隙(6)；所述接地导块(51)的边缘接地。

2.如权利要求1所述的平面小功率微波微等离子体圆环形阵列源，其特征在于，每条所述阵列单元(11)的长度为四分之一波导波长的奇数倍，宽度范围为1mm～2mm，数量为6～50个。

3.如权利要求1所述的平面小功率微波微等离子体圆环形阵列源，其特征在于，所述缝隙(6)的宽度范围为10μm～200μm，谐振频率为2.45GHz。

4.如权利要求1所述的平面小功率微波微等离子体圆环形阵列源，其特征在于，所述耦合环(3)的宽度范围为1mm～10mm。

5.如权利要求1所述的平面小功率微波微等离子体圆环形阵列源，其特征在于，所述馈电导带(4a，4b)的宽度大于或等于所述阵列单元(11)的宽度。

6.如权利要求1所述的平面小功率微波微等离子体圆环形阵列源，其特征在于，所述接地导块(51)的长度大于所述阵列单元(11)的宽度，长度范围为2mm～4mm，宽度范围为4mm～20mm。

7.如权利要求1所述的平面小功率微波微等离子体圆环形阵列源，其特征在于，所述微带传输线同心阵列(1)、所述耦合环(3)、所述馈电导带(4a，4b)和所述接地导带(5)由金或铜制成。

8.如权利要求1所述的平面小功率微波微等离子体圆环形阵列源，其特征在于，进一步包括设置在所述微带传输线同心阵列(1)、所述耦合环(3)、所述馈电导带(4a，4b)和所述接地导带(5)底部的基片(7)。

9.如权利要求8所述的平面小功率微波微等离子体圆环形阵列源，其特征在于，所述基片(7)由蓝宝石、高阻硅、多孔硅、红宝石或高频陶瓷制成。

10.如权利要求8所述的平面小功率微波微等离子体圆环形阵列源，其特征在于，所述基片(7)的底部设置有接地板(8)，所述接地板(8)与所述中心公共接地点(2)和所述接地导带(5)连接。