[实用新型]一种静电力驱动的微型超声电机

权利要求书

1.一种静电力驱动的微型超声电机，其特征在于，包括：硅基定子、转子、轴承和弹性预压力装置，所述硅基定子上表面设有一齿状凸起；所述转子的一端套设于轴承内作旋转运动，所述转子与所述硅基定子的齿状凸起相接触；所述弹性预压力装置沿轴向施加预压力于转子，使转子与硅基定子间产生法向压力，所述硅基定子在驱动电压作用下产生超声振动，硅基定子的齿状凸起通过摩擦力驱动转子旋转。

2.根据权利要求1所述的静电力驱动的微型超声电机，其特征在于，所述的硅基定子为一个复合结构体，其基底为低电阻率硅片，基底的上表面刻蚀出一个环形凹槽，基底的上表面和环形凹槽内表面覆盖二氧化硅绝缘层，一个高电阻率硅膜片与基底的上表面键合并封闭凹槽形成真空腔体，所述高电阻率硅膜片上表面设置有第一金属电极和所述的齿状凸起。

3.根据权利要求2所述的静电力驱动的微型超声电机，其特征在于，所述硅基定子的基底、真空腔体、第一金属电极之间形成平行板电容，在交流电压作用下，第一金属电极与基底之间变化的静电力引起硅膜片的振动。

4.根据权利要求2所述的静电力驱动的微型超声电机，其特征在于，所述硅基定子的真空腔体上的环形硅膜片中有沿圆周方向传播的弯曲振动行波，通过接触摩擦驱动所述转子旋转。