[实用新型]一种MEMS执行器

权利要求书

1.一种MEMS执行器，包括旋转圆环（9），其特征在于，它还包括自上而下紧贴的至少四层结构：电极层（a）、结构层（b）、电绝缘氧化隔离层（c）和基底层（d），

所述电极层包括四个电极（A1、A2、A3、A4），四个电极（A1、A2、A3、A4）对称分布在执行器的两端；

所述结构层包括阵列V型电热驱动器和杠杆，所述杠杆包括推力杠杆（4）和拉力杠杆（7）；

所述电绝缘氧化隔离层包括阵列V型电热驱动器的锚点（m、n、p、q）和杠杆的锚点（u、v、x、y）；

所述结构层还包括与阵列V型电热驱动器和推力杠杆（4）相连的柔性梁（2）、推力杠杆（4）在锚点（u）处的柔性梁（3）、推力杠杆（4）和拉力杠杆（7）的连接梁（5）、拉力杠杆（7）在锚点（v）处的柔性梁（6）、旋转圆环（9）、拉力杠杠（7）与旋转圆环（9）的柔性连接梁（8），其中推力杠杆（4）和拉力杠杠（7）为柔性杠杆机构的主要组成部分，

所述执行器的结构层以旋转圆环（9）为对称点，所述阵列V型电热驱动器和柔性杠杆机构皆是具有一定刚度的弹性机构。

2.根据权利要求1所述的MEMS执行器，其特征在于，所述阵列V型电热驱动器和柔性杠杆机构刚度比值为1。

3.根据权利要求1所述的MEMS执行器，其特征在于，所述电绝缘氧化隔离层为氧化硅隔离层。

4.根据权利要求1所述的MEMS执行器，其特征在于，所述四个电极为Ti/Au电极。

5.根据权利要求1所述的MEMS执行器，其特征在于，所述结构层主要成分为掺杂硅。

6.根据权利要求1所述的MEMS执行器，其特征在于，所述基底层采用硅制成。

7.根据权利要求1所述的MEMS执行器，其特征在于，所述拉力杠杠（7）与旋转圆环（9）的柔性连接梁（8）长500~1200微米，宽5~30微米。

8.根据权利要求1所述的MEMS执行器，其特征在于，所述柔性连接梁（8）与旋转圆环（9）之间预留旋转角度为20~60°。

9.根据权利要求1所述的MEMS执行器，其特征在于，所述旋转圆环（9）的旋转角度为45~120°。