[实用新型]扩散泵节能控制系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，尤其涉及扩散泵。

背景技术

在卷绕式高真空镀膜机中，一般都会用到扩散泵进行抽真空以达到高真空要求。根据不同机型用到的扩散泵数量不一，一米宽度内一般只用一个，超过一米到三米内的就要用到二到四个扩散泵才能实现高真空的要求保证镀膜质量。

然而扩散泵存在耗能高、启动时间长、抽真空效果差等问题。扩散泵所消耗的能耗，已经占据了整个真空镀膜机的能耗的一大部分。而现在在高真空镀膜行业，为增强企业的竞争力量降低生产成本已经是大多数厂家唯一的出路。

真空镀膜本身就要去真空度较高，否则会影响产品的附着力和蒸发均匀度等。这就要求扩散泵必须保证合适的工作温度。现有的控制方式难以同时保证温度又节能的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供扩散泵节能控制系统，以解决上述至少一个技术问题。

本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：

扩散泵节能控制系统，包括与真空镀膜机的下室联通的真空度控制装置，其特征在于，所述真空度控制装置设有至少两组，至少两组真空度控制装置与所述下室并联连接；

每组所述真空度控制装置包括一与所述下室联通的扩散泵、一排气阀、一抽气阀，每个所述扩散泵均通过一个所述抽气阀与所述下室联通，每个所述扩散泵通过一个所述排气阀分别与一维持泵、一前级泵联通；

所述扩散泵的下端部设有一加热器，所述扩散泵设有一中空腔体，所述加热器位于所述中空腔体的下方，所述扩散泵的内壁设有温度传感器，所述温度传感器连接一微型处理器系统，所述微型处理器系统连接所述加热器。

本实用新型便于根据不同的产品要求，实时的调整真空度控制装置工作的个数，本实用新型通过在扩散泵的内壁设有温度传感器，实时调整工作温度的同时，当温度传感器检测到的数据温度限值时，加热器停止工作，减少了能耗。

所述下室的内壁上设有一真空度传感器，所述真空度传感器是一无线传感器，所述真空度传感器内设有一无线通讯模块；

所述微型处理器系统设有一与所述无线通讯模块相匹配的无线收发模块，所述真空度传感器无线通讯连接所述微型处理器系统。

在整个真空镀膜机镀膜周期中扩散泵并不是一直处于抽真空状态，通过微型处理器系统根据真空度的变化，调整加热装置的工作情况，扩散泵的加热方式可以做不同的调整，从而减少能耗提高工作效率。本实用新型通过无线收发的方式，解决了传统有线连接的布线繁琐性。

所述真空度控制装置包括一显示屏，所述显示屏位于真空镀膜机的壳体上，所述显示屏是一触控显示屏，所述显示屏连接所述微型处理器系统，所述微型处理器系统连接所述扩散泵。

本实用新型通过显示屏根据不同的产品有选择性的选择启动扩散泵的数量。

所述排气阀与所述抽气阀均为电磁阀，所述微型处理器系统连接所述排气阀与所述抽气阀。

便于通过显示屏控制排气阀与抽气阀的导通与闭合。

所述微型处理器系统位于所述真空镀膜机的壳体内。

所述下室通过一控制上下室联通状态的第一阀门与上室联通，所述第一阀门是一电磁阀。

所述微型处理器系统连接所述第一阀门。

所述维持泵与所述至少两组真空度控制装置并联连接，所述维持泵与所述至少两组真空度控制装置之间设有一控制维持泵与扩散泵导通状态的第二阀门，所述第二阀门是一电磁阀。

所述微型处理器系统连接所述第二阀门。

所述至少两组真空度控制装置还连接有一控制前级泵与扩散泵导通状态的第三阀门，所述第三阀门与所述至少两组真空度控制装置的出气口联通；

所述第三阀门是一电磁阀。

所述微型处理器系统连接所述第三阀门。

所述第三阀门设有一进气口、一出气口，所述第三阀门的进气口与出气口处均设有一低真空测量装置。便于检测真空度。