[实用新型]吸附悬浮平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种机械加工设备，尤其涉及一种吸附悬浮平台。

背景技术

在现有技术，吸附平台常常用于吸附作为处理对象的工件，以对工件进行处理。这些处理可以包括加工、除尘、检测和研磨等。这些处理的精密度要求普遍较高，因而如何提高吸附平台的精度一直是本领域技术人员不断解决的技术问题。

在一篇日本专利文献，日本特开2001-138095中公开了一种采用具有无数个小孔的多孔质陶瓷板而形成平台的基板载置部。在一篇公开号为CN103567912，名称为“吸附平台的制造方法及吸附平台”的中国专利文献，公开了一种吸附平台，其采用的多孔质陶瓷板的结构较易加工，吸附平台的吸附力较大。但是，在这篇中国申请中的吸附平台还需要嵌入缓冲材料，其结构较为复杂，制造工艺较为复杂。

此外在现有技术中，吸附平台对于待处理的工件而言只有吸附功能，而不具有悬浮功能。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种吸附悬浮平台。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种吸附悬浮平台，它包括：

下层板，其上形成有一个或多个通道；

上层板，其由多孔质陶瓷材料制成，所述上层板的一面通过胶水与所述下层板粘合，所述上层板的另一面能通过所述下层板的通道而形成正压力或负压力。

优选地，所述下层板的通道的一端设在所述下层板的底部或侧部，所述下层板的通道的另一端开设在所述下层板的顶部。

优选地，所述下层板由天然花岗岩材料制成，从而确保吸附悬浮平台具有高精度。

优选地，所述下层板由金属材料制成，从而确保减薄、轻量、耐温、防碰撞等要求。

优选地，所述上层板的另一面上形成有加工装置。

优选地，所述多孔质的陶瓷材料的孔径为2μm-40μm，气孔分布率为37％-47％。

优选地，所述胶水为AB胶、透明胶、环氧树脂中的一种或几种。

优选地，所述吸附悬浮平台还包括一抽气装置，该抽气装置能与所述通道连通，从而使得所述上层板的另一面具有负压力。

优选地，所述吸附悬浮平台还包括一排气装置，该排气装置能与所述通道连通，从而使得所述上层板的另一面具有正压力。

本实用新型采用上述结构，可以提高该吸附悬浮平台的精度，简化该吸附悬浮平台的制造方法，还可以将待处理的工件悬浮在上层板的表面，从而便于将待处理的工件取放以防止划伤。

附图说明

在此描述的附图仅用于解释目的，而不意图以任何方式来限制本实用新型公开的范围。另外，图中的各部件的形状和比例尺寸等仅为示意性的，用于帮助对本实用新型的理解，并不是具体限定本实用新型各部件的形状和比例尺寸。本领域的技术人员在本实用新型的教导下，可以根据具体情况选择各种可能的形状和比例尺寸来实施本实用新型。

图1显示了本申请中吸附悬浮平台的一个具体实施方式。

图2显示了图1中上层板的俯视图。

图3显示了图1中吸附悬浮平台的一种工作状态。

图4显示了图1中吸附悬浮平台的另一种工作状态。

以上附图中的附图标记为：1、上层板；11、加工装置；12、一面；13、另一面；2、下层板；21、通道；211、一端；212、另一端；3、抽气装置；4、排气装置。

具体实施方式

结合附图和本实用新型具体实施方式的描述，能够更加清楚地了解本实用新型的细节。但是，在此描述的本实用新型的具体实施方式，仅用于解释本实用新型的目的，而不能以任何方式理解成是对本实用新型的限制。在本实用新型的教导下，技术人员可以构想基于本实用新型的任意可能的变形，这些都应被视为属于本实用新型的范围。

图1示出了本申请中吸附悬浮平台的一个具体实施方式。参照图1所示，在本实施方式中，吸附悬浮平台包括：下层板2，其上形成有一个或多个通道21；上层板1，其由多孔质的陶瓷材料形成，所述上层板1的一面12通过胶水与所述下层板2粘合，所述上层板1的另一面13能通过所述下层板2的通道21而形成正压力或负压力。