[实用新型]一种单晶炉系统

说明书

技术领域

本实用新型属于单晶拉制技术领域，具体涉及一种单晶炉系统。

背景技术

目前，多数单晶硅生产厂家在单晶炉内均安装有冷却装置，再单晶炉内安装冷却装置的目的主要是用来增加炉内的纵向温度梯度，以利于提高生产效率。目前，现有的冷却装置的安装通常是将单晶炉阀室与炉盖之间拆开后，自上而下地安装。然而对于部分尺寸较小的单晶炉系统来说，由于受单晶炉脖口尺寸的限制，使得小型单晶炉系统中无法加装冷却装置。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是根据现有技术存在的上述不足，提供一种单晶炉系统，该单晶炉系统中的冷却装置的安装方式不受单晶炉脖口的限制，且所述冷却装置的冷却效果好，能够加快热场上部及晶棒表面热量的散失。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是该单晶炉系统包括副炉室、炉盖及主炉室，该单晶炉系统还包括冷却装置，所述冷却装置包括法兰和中空的筒体，所述筒体设于炉盖内部，晶棒能够从筒体中穿过，所述法兰设于主炉室与炉盖结合的位置，法兰与筒体连通，筒体的顶端的高度高于法兰的高度，冷却水进入法兰后，再流到筒体内，然后从筒体流回至法兰中，最后从法兰流出。

优选的是，所述筒体设于单晶炉脖口的正下方，且筒体的顶端与单晶炉脖口接近而不接触。

优选所述筒体的顶端与单晶炉脖口之间的距离为1～10mm。

优选的是，所述筒体的长度设置为能够使筒体随炉盖一同旋转，并保证筒体的底端的高度高于主炉室的上端面。

优选的是，所述筒体的底端低于法兰的高度，以使得筒体从法兰中穿过。

优选的是，所述炉盖包括处于炉盖底部的炉盖法兰，所述法兰与炉盖法兰连接。

进一步优选的是，所述法兰上设有连接块，通过所述连接块将法兰与炉盖法兰安装在一起。

更优选的是，法兰上开有进水口和出水口，法兰中设有水流通道，筒体中设有冷却通道，法兰和筒体之间通过进水管道和出水管道连通，所述进水管道的一端与法兰上的进水口连通，另一端与筒体连通；所述出水管道的一端与法兰上的出水口连通，另一端与筒体连通，冷却水从法兰上的进水口中进入法兰的水流通道，再经进水管道进入筒体的冷却通道，然后流经出水管道，最后从法兰上的出水口中流出。

优选的是，法兰和筒体采用不锈钢制成。

本实用新型单晶炉系统的有益效果如下：

通过对该单晶炉系统内部设置的冷却装置的结构进行改进，使冷却装置能够采用自下而上的加装方式进行安装，从而解决了小型单晶炉中加装冷却装置的瓶颈问题，该单晶炉系统特别适用于小型单晶炉使用，同时还使得冷却装置的安装变得简单方便。并且，通过加装所述冷却装置，能够方便地将冷却水引入单晶炉内，从而加快热场上部及晶棒表面热量的散失，冷却效果好。

附图说明

图1是本实用新型实施例1的单晶炉系统中冷却装置的结构示意图。

图中：1－法兰；2－进水口；3－出水口；4－定位销孔；5－出水管道；6－进水管道；7－支撑管；8－筒体；9－连接块。

具体实施方式

下面结合本实用新型中的附图，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，下面所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供一种单晶炉系统，包括副炉室、炉盖及主炉室，该单晶炉系统还包括冷却装置，所述冷却装置包括法兰和中空的筒体，所述筒体设于炉盖内部，晶棒能够从筒体中穿过，所述法兰设于主炉室与炉盖结合的位置，法兰与筒体连通，筒体的顶端的高度高于法兰的高度，冷却水进入法兰后，再流到筒体内，然后从筒体流回至法兰中，最后从法兰流出。

实施例1：

本实施例中提供的单晶炉系统，其包括从下到上依次相连的主炉室、炉盖、阀室和副炉室，其中炉盖包括处于炉盖底部的炉盖法兰，该单晶炉系统还包括冷却装置。其中冷却装置主要包括法兰和筒体，筒体设于炉盖的内部，法兰设于主炉室与炉盖结合的位置，法兰与筒体连通，筒体的顶端的高度高于法兰的高度。

具体地，本实施例中，如图1所示，所述冷却装置包括法兰1、筒体8、用于连接法兰1和筒体8的支撑管7、以及进水管道6和出水管道5。筒体8的外径小于法兰1的内径。

其中，炉盖与阀室结合的位置形成单晶炉脖口。优选地，筒体设于单晶炉脖口的正下方，且筒体的顶端与单晶炉脖口可无限接近但两者不接触。