[实用新型]改进照明型干涉系统

权利要求书

1.一种改进照明型干涉系统，其特征在于：所述改进照明型干涉系统主要包括激光发射器(1)、发射透镜(3)、空间光调制器(4)、第一透镜(5)、第二透镜(6)、第三透镜(8)、分光镜(9)、反射镜(10)和准直镜(12)，按照激光光路的方向依次设置激光发射器(1)、发射透镜(3)、空间光调制器(4)、第一透镜(5)、第二透镜(6)、第三透镜(8)和分光镜(9)。

2.根据权利要求1所述的改进照明型干涉系统，其特征在于：所述激光发射器(1)和发射透镜(3)之间设置有耦合器(2)。

3.根据权利要求1所述的改进照明型干涉系统，其特征在于：所述第二透镜(6)和第三透镜(8)之间设置有毛玻璃(7)。

4.根据权利要求3所述的改进照明型干涉系统，其特征在于：所述毛玻璃(7)为旋转毛玻璃。

5.根据权利要求1所述的改进照明型干涉系统，其特征在于：所述待测镜(11)设置在分光镜(9)后侧。

6.根据权利要求1所述的改进照明型干涉系统，其特征在于：所述反射镜(10)与准直镜(12)的法线与激光发射器(1)的发射方向垂直。

7.根据权利要求6所述的改进照明型干涉系统，其特征在于：所述反射镜(10)与准直镜(12)分别设置在分光镜(9)的两侧。

8.根据权利要求1-7之一所述的改进照明型干涉系统，其特征在于：所述干涉系统还包括设置在准直镜(12)后侧的CCD(13)。