[实用新型]反馈式声光调制移相干涉系统有效
| 申请号： | 201520271451.9 | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN204902762U | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 林燕彬 | 申请（专利权）人： | 林燕彬 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G02F1/11 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350200 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反馈 声光 调制 相干 系统 | ||
1.一种反馈式声光调制移相干涉系统，其特征在于：所述反馈式声光调制移相干涉系统主要包括激光器(1)、多个扩束镜、分光系统(3)、多个调制器、光阑(6)、反射镜(7)、多个准直镜、参考镜(12)和成像透镜(15)，其中，多个扩束镜包括第一扩束镜(2)和第二扩束镜(5)，多个调制器包括第一调制器(4)和第二调制器(10)，多个准直镜包括第一准直镜(8)和第二准直镜(15)，所述激光器(1)、第一扩束镜(2)、分光系统(3)、第一调制器(4)、第二扩束镜(5)、光阑(6)和反射镜(7)设置在同一光轴线上，激光器(1)发射的激光经过第一扩束镜(2)后到达分光系统(3)分成两路，一路经过第一调制器(4)和第二扩束镜(5)到达反射镜(7)，另一路经过分光镜(18)后一路到达被测件(11)，经过分光镜(18)后到达成像透镜(17)。
2.根据权利要求1所述的反馈式声光调制移相干涉系统，其特征在于：所述分光系统(3)和第二调制器(10)之间设置第一光电管(9)。
3.根据权利要求1所述的反馈式声光调制移相干涉系统，其特征在于：所述激光器(1)为氦氖激光器，所述第一扩束镜(2)为λ/2透镜，第二扩束镜(5)为λ/4透镜，所述反射镜(7)为球面反射镜。
4.根据权利要求1所述的反馈式声光调制移相干涉系统，其特征在于：所述系统还包括DSP(13)，所述DSP(13)与第二调制器(10)连接。
5.根据权利要求4所述的反馈式声光调制移相干涉系统，其特征在于：DSP(13)和成像透镜(17)之间设置第二光电管(14)和第二准直镜(15)。
6.根据权利要求1-4之一所述的反馈式声光调制移相干涉系统，其特征在于：所述系统还包括CCD(16)，所述CCD(16)与成像透镜(17)连接。
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