[实用新型]一种激光跟踪仪测长精度标定装置

权利要求书

1.一种激光跟踪仪测长精度标定装置，其特征是，光学平台(2)上从左至右依次设置激光跟踪仪(8)、双频激光干涉仪(1)、干涉镜组夹具(4)和直角棱镜组夹具(11)，干涉镜组夹具(4)由下往上依次放置干涉镜组(3)、双频激光干涉仪目标反射镜(13)、激光跟踪仪反射靶镜组(14)，其中干涉镜组(3)由垂直纸面方向连接的干涉分光镜(3-1)和干涉反射镜(3-2)组成，直角棱镜组夹具(11)上放置直角棱镜组(12)，直角棱镜组(12)由下往上依次为第二直角棱镜(12-2)、第一直角棱镜(12-1)、第三直角棱镜(12-3)、第四直角棱镜(12-4)；

光学平台(2)右侧放置虚拟导轨(5)，五棱镜组(9)放置在虚拟导轨(5)上，五棱镜组(9)由下往上依次为第一五棱镜(9-1)和第二五棱镜(9-2)；

双频激光干涉仪(1)出射光束经干涉镜组(3)中的干涉分光镜(3-1)后分为两束，第一束经干涉分光镜(3-1)后水平出射，并依次经五棱镜(9-1)和五棱镜(9-2)反射，再水平出射并对准双频激光干涉仪目标反射镜(13)中心，原路返回后对准双频激光干涉仪的辅助对准光阑中心，第二束经干涉分光镜(3-1)后进入干涉反射镜(3-2)，原路返回后对准双频激光干涉仪的辅助对准光阑中心；

激光跟踪仪(8)出射光束依次经过第一直角棱镜(12-1)和第二直角棱镜(12-2)反射并水平出射，再依次经第一五棱镜(9-1)和第二五棱镜(9-2)反射后水平出射，再依次经过第三直角棱镜(12-3)和第四直角棱镜(12-4)后水平出射，并对准激光跟踪仪反射靶镜组(14)中的激光跟踪仪反射靶镜(14-1)中心，原路返回后进入激光跟踪仪8内部干涉系统及跟踪系统；

该装置还包括位置敏感探测器组(6)和位置敏感探测器组夹具(7)，位置敏感探测器组(6)由第一位置敏感探测器(6-1)和第二位置敏感探测器(6-2)组成，并由下往上依次固定在位置敏感探测器组夹具(7)上；用于调平虚拟导轨(5)和激光跟踪仪(8)光束以及调节测量光路与参考光路的平行度。

2.根据权利要求1所述的一种激光跟踪仪测长精度标定装置，其特征在于，所述虚拟导轨(5)是由一个可移动平台P_(N+1)和N个相隔一定节距的固定平台P_i组成，i＝1～N，固定平台P_i和可移动平台P_(N+1)上分别具有可调底座，可移动平台P_(N+1)在固定平台之间移动，用于转移五角棱镜组(9)或位置敏感探测器组(6)，利用可调底座调节虚拟导轨(5)的直线度。

3.根据权利要求2所述的一种激光跟踪仪测长精度标定装置，其特征在于，在调平虚拟导轨(5)时，将位置敏感探测器组(6)中的第一位置敏感探测器(6-1)固定在位置敏感探测器组夹具(7)上，将位置敏感探测器组夹具(7)依次放置在固定平台P_i的可调底座上，经N次调节可调底座使双频激光干涉仪(1)的光束对准第一位置敏感探测器(6-1)中心。

4.根据权利要求2所述的一种激光跟踪仪测长精度标定装置，其特征在于，调平激光跟踪仪(8)光束时，将位置敏感探测器组(6)中的第二位置敏感探测器(6-2)固定在位置敏感探测器组夹具(7)上并位于第一位置敏感探测器(6-1)的上方，将位置敏感探测器组夹具(7)依次放在固定平台P₁和固定平台P_N的可调底座上，重复调节激光跟踪仪(8)，使位置敏感探测器组夹具(7)在两个位置处时激光跟踪仪(8)的光束均对准第二位置敏感探测器(6-2)中心。

5.根据权利要求2所述的一种激光跟踪仪测长精度标定装置，其特征在于，调平测量光路与参考光路时，将五棱镜组(9)固定在五棱镜组夹具(10)上，并放置在虚拟导轨(5)的可调底座上，将位置敏感探测器组(6)固定在位置敏感探测器组夹具(7)上，并放置在干涉镜组夹具(4)和直角棱镜组夹具(11)之间的光学平台(2)上，调节直角棱镜组夹具(11)和五棱镜组夹具(10)使五棱镜组(9)从固定平台P₁经可移动平台P_(N+1)移动至固定平台P_N过程中双频激光干涉仪(1)光束和激光跟踪仪(8)光束始终分别对准第一位置敏感探测器(6-1)中心和第二位置敏感探测器(6-2)中心。