[实用新型]电光调制移相干涉仪有效
| 申请号： | 201520275949.2 | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN204854621U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 林燕彬 | 申请（专利权）人： | 林燕彬 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350200 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电光 调制 相干 | ||
1.一种电光调制移相干涉仪，其特征在于：所述电光调制移相干涉仪主要包括激光器(1)、第一扩束镜(2)、分光系统(3)、第一电光调制器(4)、第二扩束镜(5)、反射镜(7)、第一分光镜(8)、第二分光镜(9)、第二电光调制器(10)、参考镜(12)、成像透镜(15)和CCD(16)，所述第二扩束镜(5)和反射镜(7)之间设置有光阑(6)，所述CCD(16)与成像透镜(15)连接，所述激光器(1)、第一扩束镜(2)、分光系统(3)、第一电光调制器(4)、第二扩束镜(5)、光阑(6)和反射镜(7)设置在同一光轴线上。
2.根据权利要求1所述的电光调制移相干涉仪，其特征在于：所述激光器(1)为氦氖激光器，第一扩束镜(2)为λ/2透镜，第二扩束镜(5)为λ/4透镜，所述反射镜(7)为球面反射镜。
3.根据权利要求1所述的电光调制移相干涉仪，其特征在于：所述干涉仪还包括DSP(13)，所述DSP(13)与第二电光调制器(10)连接。
4.根据权利要求1所述的电光调制移相干涉仪，其特征在于：激光器(1)发射的激光经过第一扩束镜(2)后到达分光系统(3)分成两路，一路经过第一电光调制器(4)和第二扩束镜(5)到达反射镜(7)，另一路经过第一分光镜(8)和第二分光镜(9)后一路到达待测镜(11)，经过第二分光镜(9)后另一路经过第三分光镜(14)后到达成像透镜(15)。
5.根据权利要求1-4之一所述的电光调制移相干涉仪，其特征在于：所述第一分光镜(8)与第二电光调制器(10)对应设置。
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