[实用新型]一种石墨加热器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石墨加工设备，特别是一种石墨加热器。

背景技术

在硅晶体的制备过程中，其大部分过程是吸热过程，即需要外部供给热量，因为石墨具有耐高温、电阻率高、强度随着温度提高而增加等特点，因此采用石墨加热器提供制备过程所需要的热量。石墨加热器在使用过程中，由于漏硅或渗硅等原因，导致加热器电极支脚和石墨电极粘结在一起，加热器电阻发生变化，进而影响温度梯度，使加热器不能再继续使用。但是，加热器的主体依然是完好的。加热器所用的石墨是高纯等静压石墨，这类石墨主要依靠进口，价格昂贵。因此这就造成了企业成本的提高。

实用新型内容

针对上述背景技术存在的缺陷，本实用新型提供一种石墨加热器。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：其包括加热器本体、电极支脚和设置在加热器本体侧壁的侧壁发热体，所述加热器本体呈圆筒状，在加热器本体的圆筒壁的轴向方向上均匀设有布置侧壁发热体的开槽，所述的侧壁发热体内充填有细条状石墨，所述的侧壁发热体向下和向内延伸形成弧形的底部发热体，所述的底部发热体与侧壁发热体形成弧形对接，所述加热器本体有两块对称的石墨板同向延伸设有电极支脚安装板，所述电极支脚由相互垂直并构成L形的侧板和横板组成，电极支脚通过等静压石墨螺丝穿过侧板与电极支脚安装板固定连接，所述电极支脚安装板与电极支脚侧板之间还设有石墨纸。

进一步的，所述的底部发热体内充填有石墨。

优选的，所述的底部发热体与侧壁发热体内充填的石墨的厚度一致。

进一步的，所述相邻两块石墨板之间的间隙中填充有石墨垫块。

进一步的，所述电极支脚的横板上设置有接线孔。

本实用新型具有以下有益效果：本实用新型具有热态分布合理、热能利用率高、拉制大尺寸单晶成品率高等特点，电极支脚是利用生产石墨加热器的废料来做的，成本低，可有效的降低企业的运行成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，本实用新型包括加热器本体1、电极支脚2和设置在加热器本体1侧壁的侧壁发热体8，加热器本体1呈圆筒状。在加热器本体1的圆筒壁的轴向方向上均匀设有布置侧壁发热体8的开槽6。所述的侧壁发热体8内充填有细条状石墨。侧壁发热体8向下和向内延伸形成弧形的底部发热体9，所述的底部发热体,9内充填有石墨。所述的底部发热体9与侧壁发热体8内充填的石墨的厚度一致。

本实用新型在石墨加热器设计上引进新型发热布局理念，通过将侧壁发热体向下和向内延伸形成弧形的底部发热体的结构设计，不仅能达到原有技术中环形石墨加热器加底部加热器的两个加热器的效果，而且相比之前的设计，底部更容易受热，在维持传统加热器性能的基础下具有热态分布合理、热能利用率高、拉制大尺寸单晶成品率高等特点。

加热器主体1有两块对称的石墨板延伸设有电极支脚安装板3，电极支脚2由相互垂直并构成L形的侧板和横板组成，电极支脚2通过等静压石墨螺丝4穿过侧板与电极支脚安装板3固定连接，所述电极支脚安装板3与电极支脚2侧板之间还设有石墨纸5，所述相邻两块石墨板之间的间隙中填充有石墨垫块6，所述电极支脚的横板上设置有接线孔7。

本实用新型的石墨加热器是新加工的电极支脚2重新加工而成的，首先根据不同加热器电极支脚2覆盖硅面积的不同，将被硅覆盖的部分去除掉，加工出相应尺寸的电极支脚2；然后测定每两块石墨板之间的间隙，加工相应厚度的石墨垫块6，然后将其垫在每个缝隙之间，防止在加工过程中，加热器主体的变形。接着裁剪出相应尺寸的石墨纸5，石墨纸5的厚度为2-5mm，将石墨纸5夹在新加工的电极支脚2和旧的加热器主体1之间，从而使加热器导电性能良好。最后用均布的等静压石墨螺丝4，将新加工的电极支脚2和加热器主体1重新连接起来，并利用相应的刀具将石墨纸修剪掉，同时用砂纸将结合部分进行抛光处理。从而达到加热器可以继续使用，节约成本的目的。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。