[实用新型]智能控制式扩展光源干涉仪系统

权利要求书

1.一种智能控制式扩展光源干涉仪系统，其特征在于：所述干涉系统主要包括激光光源(1)、小孔光阑(2)、扩束镜(3)、聚焦系统(4)、偏振片(5)、毛玻璃(6)、分束器(7)、准直透镜(8)以及成像透镜(11)，按照激光光源(1)的激光方向依次设置激光光源(1)、小孔光阑(2)、扩束镜(3)、聚焦系统(4)、偏振片(5)、毛玻璃(6)、分束器(7)和准直透镜(8)。

2.根据权利要求1所述的智能控制式扩展光源干涉仪系统，其特征在于：所述成像透镜(11)对应于分束器(7)设置，准直透镜(8)后侧依次摆设参考镜(9)和待测镜(10)。

3.根据权利要求1或2所述的智能控制式扩展光源干涉仪系统，其特征在于：所述成像透镜(11)还连接有一CCD(12)。

4.根据权利要求3所述的智能控制式扩展光源干涉仪系统，其特征在于：所述毛玻璃(5)为旋转毛玻璃，连接有一电机。

5.根据权利要求3所述的智能控制式扩展光源干涉仪系统，其特征在于：所述激光光源(1)设置在一位移台(14)上。

6.根据权利要求5所述的智能控制式扩展光源干涉仪系统，其特征在于：所述干涉仪系统还包括计算机(13)，所述计算机(13)分别与激光光源(1)、偏振片(5)、CCD(12)和位移台(14)连接。