[实用新型]一种电子显微镜样品台

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子显微设备技术领域，特别涉及一种电子显微镜样品台。

背景技术

现有技术中用于放置薄板样品的扫描电子显微镜样品台一般将表面观察和截面观察分开，即无法实现在同一样品台上同时进行表面和截面观察。对于冷轧薄板来说，经过轧制及其他处理后，薄板表面与截面存在很大差异且需要表面与截面对比观察。使用现有技术中的样品台进行表面和截面检测时，一方面需要抽卸真空更换样品进而增加检测时间，另一方面频繁的开关灯丝增加耗材使用量进而增加检测费用。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种同时观测多组试样的电子显微镜的样品台。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种电子显微镜样品台，用于同时承载轧制薄板的表面和截面试样；包括：底座、承载上盖、承载下盖；所述承载下盖上表面设置条状凸起，将所述承载下盖上表面分成第一承载面和第二承载面两部分；所述承载上盖紧固在所述第一承载面上；所述承载下盖紧固在所述底座上。

进一步地，所述条状凸起的两侧面与所述第一承载面和第二承载面垂直。

进一步地，所述承载上盖底部通过螺栓与所述第一承载面紧固相连。

进一步地，所述承载上盖的侧壁抵靠在所述条状凸起的侧壁上。

进一步地，所述电子显微镜样品台还包括：调整垫圈；所述调整垫圈环套在所述螺栓上，置于所述第一承载面与所述承载上盖之间。

进一步地，所述调整垫圈的数量为至少给一个。

本实用新型提供的电子显微镜样品台，针对轧制薄板样品试样，通过设置存在高度落差的承载上盖和承载下盖分别观测轧制薄板的表面和截面；解决了传统操作中无法同时观测的问题；同时也避免了传统观测操作中逐一观测带来的重复抽放真空等复杂操作；简化了观测流程，大大提升了观测效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的电子显微镜样品台的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的承载下盖的主视图；

图3为本实用新型实施例提供的承载下盖的俯视图；

图4为本实用新型实施例提供的承载上盖的主视图；

图5为本实用新型实施例提供的承载上盖的俯视图；

其中，1-承载下盖，2-承载上盖，3-底座，4-调整垫圈，5-条状凸起。

具体实施方式

参见图1，本实用新型实施例提供的一种一种电子显微镜样品台，用于同时承载轧制薄板的表面和截面试样；包括：底座3、承载上盖2、承载下盖1；承载下盖1上表面设置条状凸起5，将承载下盖1上表面分成第一承载面和第二承载面两部分；承载上盖2紧固在第一承载面上；从而形成承载上盖2和承载下盖1之间存在一定高度差的的样品台，从而保证承载上盖2和承载下盖1上放置的本身存在高度差的轧制薄板表面和轧制薄板截面与电子显微镜镜头承载等距，保证观测清晰度；下盖1紧固在底座3上，固定在电子显微镜的观测样品盒内。

条状凸起的两侧面与第一承载面和第二承载面垂直，从而形成水平和竖直方向的参照物，便于待观测试样调整放置角度；即，试样截面和表面与镜头平行，保证观测质量。

承载上盖底部通过螺栓与第一承载面紧固相连；承载上盖的侧壁抵靠在条状凸起的侧壁上，从而保证承载上盖的上表面与第一承载面平行，进而保证轧制薄板表面与镜头平行。

电子显微镜样品台还包括：调整垫圈；调整垫圈环套在螺栓上，置于第一承载面与承载上盖之间；通过调整垫圈的数量增减来调整试样截面与表面处于同一平面内，进而保证两者到镜头的距离相等，保证观测质量。薄板表面和截面的高度差控制在1mm以内。

调整垫圈内圆直径为10mm,外圆直径为20mm,高度为1mm,在实际使用过程中根据薄板样品厚度酌量增加或减少。

最后所应说明的是，以上具体实施方式仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照实例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。