[实用新型]一种高精度直线电机

权利要求书

1.一种高精度直线电机，其特征在于：包括定子轨道、永磁体、动平台、直线导轨、电连接元件、伺服系统和位移定位装置；永磁体沿轴向均匀排布于定子轨道上；动平台通过直线导轨与定子轨道在轴向上滑动连接，动平台的底部沿轴向均匀排列设有绕组，动平台的绕组正对于永磁体的上方；电连接元件与动平台上的绕组电连接；位移定位装置安装于定子轨道上且与动平台连接；位移定位装置与伺服系统电连接。

2.根据权利要求1所述的高精度直线电机，其特征在于：所述位移定位装置包括壳体、封盖、光敏元件、电荷检测元件、处理器、充电元件和激光发射器；壳体呈顶部开放的长方形，壳体固定安装于定子轨道上；光敏元件呈长条形，光敏元件沿轴向设于壳体的内部，光敏元件朝向激光发射器的一面为正面；电荷检测元件呈长条形且紧贴于光敏元件的背面设置；充电元件设于壳体内部且与光敏元件及电荷检测元件电连接；激光发射器可轴向滑动地设于壳体内部，激光发射器朝光敏元件的正面设置，激光发射器与动平台固定连接；封盖盖设于壳体上；处理器与电荷检测元件连接。

3.根据权利要求2所述的高精度直线电机，其特征在于：所述光敏元件包括光敏电阻层、绝缘层和导电玻璃；导电玻璃呈长条形，位于光敏元件的正面；绝缘层设于光敏元件的背面；光敏电阻层设于导 电玻璃与绝缘层之间，且光敏电阻层与充电元件电连接。

4.根据权利要求3所述的高精度直线电机，其特征在于：所述光敏电阻层为均匀的硒填充层。

5.根据权利要求3所述的高精度直线电机，其特征在于：所述电荷检测元件包括长形导体和连接电极；长形导体呈长条形，且紧贴于绝缘层设置，长形导体与充电元件电连接；连接电极分别与长形导体及导电玻璃电连接，同时，连接电极与处理器连接。

6.根据权利要求2所述的高精度直线电机，其特征在于：所述封盖与壳体之间设有密封垫。

7.根据权利要求2所述的高精度直线电机，其特征在于：所述壳体呈长方形，壳体的底面沿轴向开设有滑动槽；激光发射器通过滑动槽与壳体轴向滑动连接。

8.根据权利要求7所述的高精度直线电机，其特征在于：所述滑动槽上设有用于防尘及遮光的胶片。