[实用新型]直控超宽光谱在线膜厚监测系统

权利要求书

1.直控超宽光谱在线膜厚监测系统，包括光源、光接收单元、光谱仪、触发发送装置、触发接收装置、控制采集单元和主控制器，所述光源照射在接近工件盘中心的外侧固定的监测基片上，通过光接收单元采集反射或透射的光信号传送至所述光谱仪；其特征在于，所述光源采用紫外光源和可见红外光源通过Y型光纤复合，紫外光源和可见红外光源分别连接Y型光纤的两个输入端，所述光谱仪包括若干个响应不同波长范围的CCD阵列光谱仪。

2.如权利要求1所述的膜厚监测系统，其特征在于，所述光接收单元通过光纤连接至所述光谱仪，所述光谱仪、触发接收装置分别电连接至所述控制采集单元，所述控制采集单元电连接至所述主控制器。

3.如权利要求1所述的膜厚监测系统，其特征在于，所述紫外光源采用氘灯，所述可见红外光源采用卤钨灯。

4.如权利要求3所述的膜厚监测系统，其特征在于，所述紫外光源设置有滤光片，过滤掉紫外光源所发出的波长大于400nm以上的光信号。

5.如权利要求1所述的膜厚监测系统，其特征在于，复合后的所述光源中光信号波长范围是200-1100nm。

6.如权利要求1所述的膜厚监测系统，其特征在于，所述Y型光纤的输出端固定在镀膜真空室内的光纤支架上。

7.如权利要求1所述的膜厚监测系统，其特征在于，所述光接收单元设置在镀膜真空室的顶部或底部，所述触发发送装置设置在旋转工件盘的侧边上，所述触发接收装置设置在镀膜真空室的侧壁上，并可以与所述触发发送装置产生感应的高度位置。