[实用新型]一种抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备

权利要求书

1.一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，包括依次排列连接的上料区、刻蚀槽、第一水槽、碱槽、第二水槽、HF酸槽、第三水槽、烘干槽和下料区；其特征在，在所述烘干槽与下料区之间设有臭氧机，所述臭氧机包括水蒸气清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱，所述水蒸气清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱依次排列连接，在所述臭氧机下方设有输送带，所述水蒸气清洗箱、干燥箱和臭氧氧化箱上连接有排气管。

2.根据权利要求1所述的一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，其特征在于，所述输送带为多条滚轮构成，滚轮为不锈钢材质。

3.根据权利要求1所述的一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，其特征在于，所述水蒸气清洗箱包括水蒸气产生器、水蒸气喷头和清洗箱体；所述水蒸气产生器设置在清洗箱体内，所述水蒸气喷头与所述水蒸气产生器连通且水蒸气喷头的沿清洗箱体的输出口方向喷洒。

4.根据权利要求1所述的一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，其特征在于，所述干燥箱由热风产生器、热风喷头和干燥箱体组成；所述热风产生器设置在干燥箱体内，所述热风喷头与所述热风产生器连通且热风喷头的沿干燥箱体的输出口方向喷洒。

5.根据权利要求1所述的一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，其特征在于，所述臭氧氧化箱包括臭氧产生器、气体混合器、第一加热器、混合气体喷头和臭氧氧化箱体；所述臭氧产生器与气体混合器连接并输出混合气体，混合气体经过第一加热器流向混合气体喷头喷出且在干燥箱体输出口方向循环喷洒。

6.根据权利要求5所述的一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，其特征在于，所述混合气体喷头为旋转式混合气体喷头。

7.根据权利要求1所述的一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，其特征在于，所述退火箱包括第二加热器和退火箱体，所述第二加热器设置在退火箱体内，第二加热器向退火箱体输出口方向热辐射。

8.根据权利要求1所述的一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，其特征在于，所述输送带的下方还设置有尾气回收管。