[实用新型]一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置有效
| 申请号： | 201520291021.3 | 申请日： | 2015-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN204651287U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 詹超;廖其飞;吴宗泽;池旭明;王臻;林土全 | 申请（专利权）人： | 浙江东晶电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 金华科源专利事务所有限公司 33103 | 代理人： | 胡杰平 |
| 地址： | 321025 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 自动 离子 刻蚀 挡板 调试 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，包括挡板固定底座和钼片板，其特征是所述挡板固定底座上设置有旋转电机，旋转电机的电机轴上带有挡板；所述钼片板上设置有调试孔。
2.根据权利要求1所述的一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，其特征在于：所述钼片板上的调试孔有两个。
3.根据权利要求1或2所述的一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，其特征在于：所述挡板固定底座上的旋转电机有两个，两旋转电机的电机轴上分别带有能挡住上述调试孔的挡板。
4.根据权利要求1或2所述的一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，其特征在于：挡板通过挡板固定块固定在电机轴上。
5.根据权利要求4所述的一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，其特征在于：挡板通过固定螺丝固定在挡板固定块上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江东晶电子股份有限公司，未经浙江东晶电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520291021.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种变色头及其角度调整固定装置
- 下一篇：一种电子提花色织物的图案叠加方法
