[实用新型]一种微小几何体测量平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种微小几何体测量平台，属于光学测量技术领域。

背景技术

随着科学技术的发展，对微小几何体的测量要求越来越迫切。从机械工业、电子工业到医学、生物工程、环境保护等；特别是在一些新兴的高新技术领域，都有微小几何体测量的问题。尽管微小几何体测量的对象各种各样，测量方法不尽相同，但它们共同的特点是：测量范围小，分辨率及精度要求高，自动化程度高，难度大。近年来，随着计算机与机器视觉技术的发展，图像处理与分析方法水平不断提高，使基于机器视觉成像方法的几何测量技术逐渐成为机械加工自动测量的一种革新手段。机器视觉在线测量具有非接触、设备简单、对现场环境要求不高、通用性好、易于实现自动化等诸多优点而受到人们的广泛关注。然而现有的测量物体微小几何体的实验装置尚无统一标准，在微小几何体测量中物体常常达到纳米级。目前关于微小几何体测量方法常见的有基于图像技术的微小几何体检测、光干涉法和衍射法。上述方法中基于图像处理的检测方法的缺点是其检测精度只达到了亚微米级；光干涉法和衍射法进行微小几何体测量的缺点是其仪器的结构较复杂价格较贵且对测量环境的要求苛刻。

发明内容

本实用新型提供了一种微小几何体测量平台，以用于解决现在测量平台结构较复杂价格较贵且对测量环境的要求苛刻，检测精度只达到了亚微米级的问题。

本实用新型的技术方案是：一种微小几何体测量平台，包括底座1、竖直板Ⅰ2、竖直板Ⅱ3、滑轨Ⅰ4、滑轨Ⅱ5、移动台6、支撑杆7、移动块8、相机支撑板9、CCD摄像机10、旋转轴13、螺钉14、螺杆15、支座16、电机17、销钉18、螺钉19、螺母20；其中底座1两侧分别设有竖直板Ⅰ2、竖直板Ⅱ3，竖直板Ⅰ2、竖直板Ⅱ3与支撑杆7通过螺钉19、螺母20进行螺纹连接，支撑杆7上通过销钉18连接移动块8上的销钉孔，移动块8的移动方向与底座1所在的面垂直，移动块8下方一侧的旋转轴13上转动连接有相机支撑板9且相机支撑板9的旋转运动平面与移动块8的移动方向所确定的平面平行，相机支撑板9上设有CCD摄像机10，底座1通过螺钉14与滑轨Ⅰ4、滑轨Ⅱ5螺纹固定连接，在滑轨Ⅰ4、滑轨Ⅱ5上设置有移动台6且移动台6的移动方向与移动块8的移动方向垂直，移动台6位于CCD摄像机10的正下方，在支座16上转动连接有螺杆15，在螺杆15上螺纹连接有移动台6，电机17的输出轴与螺杆15连接，电机17与支座16固定连接在一起。

所述CCD摄像机10底部装有显微摄像头11。

所述显微摄像头11下连接有设置在光源盒子12中的光源。

所述竖直板Ⅰ2、竖直板Ⅱ3与支撑杆7通过8个螺钉19和8个螺母20进行螺纹连接。

所述底座1通过8个紧定螺钉14与滑轨Ⅰ4、滑轨Ⅱ5螺纹固定连接。

本实用新型的使用过程是：

使用过程中将微小几何体（如：100nm左右）放在移动台6上，CCD摄像机10将带有显微放大作用的显微摄像头11的图像经过图像采集卡传输至计算机上；其中光源用于提供照明，从而提高采集的效果。

本实用新型的有益效果是：为微小几何体（100nm左右）的测量提供了高精度的视觉测量装置，最大程度地提高了图像质量减少了测量误差从而提高了测量精度；同时，结构简单、成本较低。

附图说明

图1为本实用新型的等轴侧示意图；

图2为本实用新型的示意图；

图中各标号：1-底座、2-竖直板Ⅰ、3-竖直板Ⅱ、4-滑轨Ⅰ、5-滑轨Ⅱ、6-移动台、7-支撑杆、8-移动块、9-相机支撑板、10-CCD摄像机、11-显微摄像头、12-光源盒子、13-旋转轴、14-螺钉、15-螺杆、16-支座、17-电机、18-销钉、19-螺钉、20-螺母。

具体实施方式