[实用新型]一种空间电荷透镜有效

专利信息
申请号: 201520298238.7 申请日: 2015-05-11
公开(公告)号: CN204559997U 公开(公告)日: 2015-08-12
发明(设计)人: 卢小龙;姚泽恩;张宇 申请(专利权)人: 兰州大学
主分类号: H05H6/00 分类号: H05H6/00;G21K1/093
代理公司: 兰州振华专利代理有限责任公司 62102 代理人: 张晋
地址: 730000 *** 国省代码: 甘肃;62
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摘要:
搜索关键词: 一种 空间电荷 透镜
【权利要求书】:

1.一种空间电荷透镜,其特征在于包括有一个管状的第一负电极、与第一负电极间用间隙相隔的一个管状的磁透镜、和与管状的磁透镜间用间隙相隔的管状第二负电极,且第一负电极、磁透镜与第二负电极同轴设置,其中:磁透镜由环状磁轭和设置于环状磁轭外的至少一块环形磁铁构成,其磁场方向与束流传输方向相反,环形磁轭上有一个漏磁间隙,环形磁铁与磁轭间设置有冷却装置。

2.根据权利要求1所述的空间电荷透镜,其特征在于所述的环形磁铁由四块环状永磁铁组成,其中靠近第二负电极的第一块环状永磁铁磁场方向指向环的圆外,相邻的第二块和第三块环状永磁铁磁场方向指向与束流传输方向相反,第四块环状永磁铁磁场方向指向环的圆心。

3.根据权利要求2所述的空间电荷透镜,其特征在于环形磁轭上的漏磁间隙宽度为31毫米。

4.根据权利要求2或3所述的空间电荷透镜,其特征在于环形磁铁与磁轭间设置有可形成冷却通路的间隙,构成冷却装置。

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