[实用新型]小面积离子束辐照小样品注入剂量实时在线准确监测装置

权利要求书

1.一种小面积离子束辐照小样品注入剂量实时在线准确监测装置，其特征在于，所述监测装置包括：测束金属接收筒筒底、金属样品台、待辐照材料样品、测束金属接收筒、绝缘隔离圈、抑制电极、接线柱、束流积分仪和离子束调控装置；其中，所述金属样品台安装固定在测束金属接收筒筒底的中心上，二者有机结合为一体，金属样品台在测束金属接收筒筒底上形成圆形凸台；所述待辐照材料样品安装固定在金属样品台上；所述测束金属接收筒筒底安装在测束金属接收筒的底部；在测束金属接收筒的侧壁上设置有接线柱；所述接线柱连接至束流积分仪；在测束金属接收筒的离子束入口端固定绝缘隔离圈；在绝缘隔离圈上固定抑制电极，测束金属接收筒与抑制电极间为电绝缘；所述抑制电极的中心设置有通束孔，通束孔的孔径和金属样品台的直径尺寸一致，并同轴，待辐照材料样品不越过金属样品台的周边；离子束的入射方向与测束金属接收筒的中心轴方向一致；在抑制电极之前设置离子束调控装置，从而入射离子束的束斑能完全覆盖抑制电极内的通束孔。

2.如权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述离子束调控装置设置在抑制电极之前3～5米处。

3.如权利要求1所述的监测装置，其特征在于，进一步包括金属屏蔽层，所述金属屏蔽层设置在测束金属接收筒的外层，与其内部的结构绝缘并且接地。

4.如权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述金属样品台与测束金属接收筒筒底之间通过螺丝固定的方式连接。

5.如权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述测束金属接收筒筒底与测束金属接收筒之间采用螺纹方式进行连接，或者采用螺丝固定的方式进行连接。

6.如权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述离子束调试装置采用四极透镜或光阑。