[实用新型]气浮导轨式直线电机模组

说明书

技术领域

本实用新型涉及线性模组技术领域，尤其是指一种气浮导轨式直线电机模组。

背景技术

永磁直线同步电机驱动的XY 气浮工作台，在半导体光刻、PC 板检查和钻孔、晶片处理加工、离子注入、电子装配及坐标测量等精密伺服领域具有广泛的应用。作为XY 气浮工作台的驱动电机，永磁直线同步电机具有大惯性、高速度、高精度及大推力等特点，同时，电机的温升也能够实现良好的控制，以阻止电机的铜耗散热到外界环境，影响整个系统的分辨率。

与驱动XY 气浮工作台运动所用的无铁芯永磁直线电机相比较，动电枢型永磁直线同步电机具有推力密度大及单位尺寸的作用力大的优势。这种永磁直线同步电机采用单边磁钢排列，成本更低；更重要的是，永磁直线同步电机的铁芯与电枢绕组直接接触，其散热表面积增大，同时，它的初级轭部很容易布置水冷却结构，这使得它的散热性能很好。对永磁直线同步电机通过合理的结构设计、电磁设计和电机优化设计，能够有效降低齿槽效应的影响，同时，电机的动子通过气浮导轨支撑，能够消除摩擦力，提高直线电机的定位精度。现有永磁直线同步电机的主要劣势是一个直线电机需要配置至少两个气浮导轨方能使直线电机的动子保持稳定性和平衡性，但其结构比较复杂，在设备中需要占用较大的空间，且控制时的精度误差较大，难以满足需求。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单、安装尺寸小、控制精度高、响应速度快的气浮导轨式直线电机模组。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种气浮导轨式直线电机模组，包括导轨座及直线电机，所述直线电机包括固定于导轨座的电机滑轨、与电机滑轨配合连接的电机动子及一字排列设置于电机滑轨上的多个永磁定子，电机动子的两侧均设置有一个滑块侧部，所述电机滑轨的一段活动嵌设于两个滑块侧部之间，电机滑轨的外壁与电机动子内壁之间有气浮间隔；所述电机动子的顶部开设有节流孔，该节流孔延伸至气浮间隔，电机动子的外壁装设有与节流孔连通的气接嘴。

优选的，所述永磁定子均为长方体形，且呈一字阵列设置于所述电机滑轨。

优选的，所述永磁定子与电机滑轨之间的夹角为70～90度。

优选的，所述滑块侧部的下端内侧设置有凸出部，该凸出部的顶端与电机滑轨的下表面抵接。

优选的，所述导轨座的截面呈倒立的“T”字形。

优选的，所述气接嘴的数量为八个，所述电机动子的两侧外壁分别设置四个气接嘴。

优选的，所述导轨座的两端均装设有防脱端板。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型提供了一种气浮导轨式直线电机模组，气接嘴用于连接高压气源设备，当高压气源设备给气接嘴供气时，高压气经过节流孔进入气浮间隔，并且高压气填充于电机滑轨的外壁与电机动子内壁之间的整个气浮间隔内，高压气产生的张力与电机动子上的承载力相互平衡时气浮间隔形成工作气膜，从而实现了电子动子的悬浮，电机动子与电机滑轨之间通过工作气膜润滑，从而更大限度地减小两者之间的摩擦阻力，提高了直线电机的响应速度和气浮导轨的运行精度，结构更简单小巧，实用性较强。

附图说明

图1为本实用新型气浮导轨式直线电机模组的立体结构示意图。

图2为本实用新型气浮导轨式直线电机模组的立体结构分解示意图。。

图3为本实用新型气浮导轨式直线电机模组的剖面结构示意图。

具体实施方式

为了便于本领域技术人员的理解，下面结合实施例与附图对本实用新型作进一步的说明，实施方式提及的内容并非对本实用新型的限定。

如附图1至图3所示，一种气浮导轨式直线电机模组，包括导轨座1及直线电机，所述直线电机包括固定于导轨座1的电机滑轨2、与电机滑轨2配合连接的电机动子3及一字排列设置于电机滑轨2上的多个永磁定子4，电机动子3的两侧均设置有一个滑块侧部5，所述电机滑轨2的一段活动嵌设于两个滑块侧部5之间，电机滑轨2的外壁与电机动子3内壁之间有气浮间隔6；所述电机动子3的顶部开设有节流孔7，该节流孔7延伸至气浮间隔6，电机动子3的外壁装设有与节流孔7连通的气接嘴8。