[实用新型]一种快速高精度平面度测量装置

权利要求书

1.一种快速高精度平面度测量装置，包括支撑架(1)和设置在所述支撑架(1)下方的测量平面(10)，其特征在于：在所述支撑架(1)的横梁(2)上设有导轨(3)和电机(4)，所述电机(4)包括螺杆轴(6)和设置在螺杆轴(6)两端的定子(5)，所述定子(5)设置在支撑架(1)的两侧，所述螺杆轴(6)与所述导轨(3)平行；还包括滑块(7)和设置在所述滑块(7)上的激光位移传感器(8)，所述滑块(7)与所述螺杆轴(6)螺纹连接，与所述导轨(3)滑动连接；所述电机(4)连接于电机驱动器，由电机驱动器驱动所述螺杆轴(6)转动，所述电机驱动器连接于控制器的输出端；所述激光位移传感器(8)连接于所述控制器的输入端。

2.根据权利要求1所述的一种快速高精度平面度测量装置，其特征在于：所述滑块(7)为平板结构。

3.根据权利要求2所述的一种快速高精度平面度测量装置，其特征在于：在所述滑块(7)的正反两面对称设置有两个激光位移传感器(8)。

4.根据权利要求1所述的一种快速高精度平面度测量装置，其特征在于：在所述横梁(2)上设有两根平行的导轨(3)，分别设置于所述横梁(2)的上侧和下侧。

5.根据权利要求4所述的一种快速高精度平面度测量装置，其特征在于：所述滑块(7)的四个顶角对称设置有四个连接件，位于所述滑块(7)上部两个顶角的连接件滑动连接于所述横梁(2)上侧的导轨(3)，位于所述滑块(7)下部两个顶角的连接件滑动连接于所述横梁(2)下侧的导轨(3)。

6.根据权利要求1所述的一种快速高精度平面度测量装置，其特征在于：所述激光位移传感器(8)采用一维位置敏感传感器或者二维位置敏感传感器。

7.根据权利要求1所述的一种快速高精度平面度测量装置，其特征在于：所述激光位移传感器(8)连接于所述控制器的位移信号输入端。