[实用新型]电子显微镜用材料力、热、电场耦合的原位拉伸台

权利要求书

1.一种电子显微镜用材料力、热、电场耦合的原位拉伸台，其特征在于，包括：金属环、拉伸器及驱动组件；其中，

所述金属环的中心开有通孔；

所述拉伸器包括：“U”形框、支撑梁、测力悬臂梁和异形臂；所述拉伸器横跨所述通孔，且“U”形框的两个分支分别固定于所述金属环的上表面；所述支撑梁和所述测力悬臂梁并行排列，且各自的两端分别固定连接于所述“U”形框的两个分支上；所述支撑梁、所述测力悬臂梁的中部分别设置一个第一电极，两个第一电极之间的空间为样品放置腔，两个第一电极各自连接一个第二电极，两个第二电极设置于“U”形框；所述异形臂的两端分别为驱动端、连接端，所述驱动端平行于所述支撑梁，所述连接端垂直于所述支撑梁，且连接于所述支撑梁的中部；

所述驱动组件处于所述“U”形框的开口侧，所述驱动组件包括：温变驱动片；所述温变驱动片平行于所述支撑梁，其一端固定连接于所述金属环的上表面，另一端插入所述异形臂围成的空间内，且与所述异形臂的驱动端之间预设狭缝。

2.如权利要求1所述的电子显微镜用材料力、热、电场耦合的原位拉伸台，其特征在于，所述金属环为铜环、铂环、钯环、钼环或金环；和/或，

所述拉伸器为硅质拉伸器、铜质拉伸器、铂质拉伸器、钯质拉伸器、钼质拉伸器或金质拉伸器。

3.如权利要求1所述的电子显微镜用材料力、热、电场耦合的原位拉伸台，其特征在于，所述拉伸器的上表面涂覆绝缘层。

4.如权利要求1所述的电子显微镜用材料力、热、电场耦合的原位拉伸台，其特征在于，所述支撑梁的中垂线和所述测力悬臂梁的中垂线重合。

5.如权利要求1所述的电子显微镜用材料力、热、电场耦合的原位拉伸台，其特征在于，所述支撑梁的中部设置第一载物台，以放置第一电极及样品；所述测力悬臂梁的中部设置第二载物台，以放置第一电极及样品。

6.如权利要求1所述的电子显微镜用材料力、热、电场耦合的原位拉伸台，其特征在于，所述支撑梁的个数为一条以上；当为多条时，多个所述支撑梁并行排列，其中的一条与所述异形臂的连接端连接。

7.如权利要求1-6任一项所述的电子显微镜用材料力、热、电场耦合的原位拉伸台，其特征在于，所述温变驱动片为热双金属片，所述热双金属片由第一金属片和第二金属片相互贴合而成，所述第一金属片的热膨胀系数大于所述第二金属片的热膨胀系数。

8.如权利要求7所述的电子显微镜用材料力、热、电场耦合的原位拉伸台，其特征在于，当研究样品的高于室温的性能时，所述第二金属片与所述异形臂的驱动端的距离大于所述第一金属片与所述异形臂的驱动端的距离。

9.如权利要求7所述的电子显微镜用材料力、热、电场耦合的原位拉伸台，其特征在于，当研究样品的低于室温的性能时，所述第一金属片与所述异形臂的驱动端的距离大于所述第二金属片与所述异形臂的驱动端的距离。

10.如权利要求7任一项所述的电子显微镜用材料力、热、电场耦合的原位拉伸台，其特征在于，所述温变驱动片为形状记忆合金片或压电陶瓷片。