[实用新型]一种电子束流剖面及强度分布测量仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子束测量仪领域，尤其涉及一种电子束流剖面及强度分布测量仪。

背景技术

现有技术是采用玻璃片上观察或量测电子束；由于其边界不十分清晰，且从颜色上分辨束流强度难有定量描述，为此我们设计了一种电子束流剖面及强度分布测量仪。

发明内容

本实用新型为了解决传统使用玻璃片难以定量描述电子束的问题，而提供一种电子束流剖面及强度分布测量仪。

本实用新型为实现上述目的，提供一种电子束流剖面及强度分布测量仪，包括光阑片和铜导线，光阑片下面设有绝缘环，绝缘环下面设有法拉第筒，法拉第筒下部外端包有绝缘底座；法拉第筒一侧设有用以固定铜导线的螺钉，螺钉和法拉第筒之间垫有垫片；铜导线一侧设有束流放大器，束流放大器一侧连接有计算机，绝缘底座一侧设有驱动轴，驱动轴一侧连接有步进电机；所述的光阑片中心位置有一个小孔。

所述的光阑片中心位置的小孔的直径为0.1mm。

所述的绝缘环为瓷环。

本实用新型的有益效果是：本实用新型所述的一种电子束流剖面及强度分布测量仪，可以直观观察并定量描述电子束流剖面及强度分布。

附图说明

图1为本实用新型所述的一种电子束流剖面及强度分布测量仪的结构示意图；

其中：1-光阑片；2-绝缘环；3-法拉第筒；4-绝缘底座；5-垫片；6-螺钉；7-束流放大器；8-铜导线；9-计算机；10-驱动轴；11-步进电机。

具体实施方式

以下将结合本实用新型的实施例参照附图进行详细叙述。

一种电子束流剖面及强度分布测量仪，包括光阑片1和铜导线8，光阑片1下面设有绝缘环2，绝缘环2下面设有法拉第筒3，法拉第筒3下部外端包有绝缘底座4；法拉第筒3一侧设有用以固定铜导线8的螺钉6，螺钉6和法拉第筒3之间垫有垫片5；铜导线8一侧设有束流放大器7，束流放大器7一侧连接有计算机9，绝缘底座4一侧设有驱动轴10，驱动轴10一侧连接有步进电机11；所述的光阑片1中心位置有一个小孔。

所述的光阑片1中心位置的小孔的直径为0.1mm。

所述的绝缘环2为瓷环。

步进电机11驱动整个测量仪运作；步进电机11带动光阑片1中心位置的小孔在X向和Y向分别一步一步地扫过束斑；法拉第筒3接受的电流对应该束斑穿过该小孔的束流强度；因为小孔很小，所接受的是弱电流，需经束流放大器7将信号输入到计算机9中进行数据处理和绘图，最后输出束流剖面和强度分布情况。