[实用新型]气体激光器及其控制装置

权利要求书

1.一种气体激光器控制装置，其特征在于，包括：

多个工作组件，分别设置于进入气体激光器的混合腔中的每一路气体的进气通道上；每一个工作组件包括压力开关以及质量流量控制器；所述压力开关和所述质量流量控制器依次沿气体走向设置；所述压力开关用于在进气压力低于预设值时发出报警信号；所述质量流量控制器用于对进气通道中的气体流量进行实时监测和调节；以及

气体控制单元，分别与每一个工作组件连接，用于接收所述报警信号并发出警报；所述气体控制单元还用于获取所述气体激光器的工作状态并根据所述工作状态输出相应的控制信号给每一质量流量控制器；所述质量流量控制器根据所述控制信号对相应的气体流量进行调节；所述气体控制单元还用于根据所述质量流量控制器监测到的实时流量值生成调整信号后输出给所述质量流量控制器。

2.根据权利要求1所述的气体激光器控制装置，其特征在于，所述气体控制单元与所述质量流量控制器通过MODBUS通讯协议进行通讯。

3.根据权利要求1所述的气体激光器控制装置，其特征在于，所述预设值为0.4兆帕。

4.根据权利要求1所述的气体激光器控制装置，其特征在于，所述气体激光器为二氧化碳激光器；进入到所述混合腔中的气体包括二氧化碳气体、氮气以及氦气；所述多个工作组件包括第一工作组件、第二工作组件以及第三工作组件；所述第一工作组件设置于所述二氧化碳气体的进气通道上；所述第二工作组件设置于所述氮气的进气通道上；所述第三工作组件设置于所述氦气的进气通道上。

5.根据权利要求1所述的气体激光器控制装置，其特征在于，还包括电磁阀组；所述电磁阀组设置于所述气体激光器的工作腔体和抽气泵之间，并与所述气体控制单元连接；

所述气体控制单元还用于根据所述气体激光器的工作状态控制所述电磁阀组的导通和截止。

6.根据权利要求1所述的气体激光器控制装置，其特征在于，还包括：

输入装置，与所述气体控制单元连接，用于供操作者输入或者更改所述控制信号；以及

显示装置，用于显示所述质量流量控制器监测到的实时流量值。

7.根据权利要求1所述的气体激光器控制装置，其特征在于，所述气体控制单元还用于将所述报警信号以及所述质量流量控制器监测到的实时流量值输出给气体激光器的总控制系统。

8.一种气体激光器，包括气体供应装置以及混合腔，所述气体供应装置用于提供产生激光所需要的各种气体；所述气体供应装置将每一种气体通过独立的进气通道输出给所述混合腔；其特征在于，还包括控制装置；所述控制装置包括：

多个工作组件，分别设置于进入所述混合腔中的每一路气体的进气通道上；每一个工作组件包括压力开关以及质量流量控制器；所述压力开关和所述质量流量控制器依次沿气体走向设置；所述压力开关用于在进气压力低于预设值时发出报警信号；所述质量流量控制器用于对进气通道中的气体流量进行实时监测和调节；以及

气体控制单元，分别与每一个工作组件连接，用于接收所述报警信号并发出警报；所述气体控制单元还用于获取所述气体激光器的工作状态并根据所述工作状态输出相应的控制信号给每一质量流量控制器；所述质量流量控制器根据所述控制信号对相应的气体的流量进行调节；所述气体控制单元还用于根据所述质量流量控制器监测到的实时流量值生成调整信号后输出给所述质量流量控制器。

9.根据权利要求8所述的气体激光器，其特征在于，所述气体激光器还包括工作腔体和抽气泵；所述控制装置还包括电磁阀组；所述电磁阀组连接于所述工作腔体和所述抽气泵之间；所述气体控制单元还用于根据所述气体激光器的工作状态控制所述电磁阀组的导通和截止。

10.根据权利要求8所述的气体激光器，其特征在于，所述气体激光器还包括总控制系统；所述气体控制单元还用于将所述报警信号以及所述质量流量控制器监测到的实时流量值输出给所述总控制系统。