[实用新型]一种用于CVD/CVI工艺的尾气处理设备

权利要求书

1.一种用于CVD/CVI工艺的尾气处理设备，包括依次相连的进气管路、吸附装置及排气管路，其特征在于：所述吸附装置包括金属罐体、设置在金属罐体内的有机物吸附组件和油雾喷洒组件及吸附油，

所述金属罐体上设置有尾气入口和净化气出口，所述尾气入口与进气管路连接，所述净化气出口与排气管路连接，

所述油雾喷洒组件的喷油口位于尾气入口下方且朝向尾气入口，所述油雾喷洒组件的进油口与吸附油相连通，所述有机物吸附组件位于喷油口的下方吸附油的上方，所述净化气出口低于有机物吸附组件而高于吸附油油面。

2.根据权利要求1所述的用于CVD/CVI工艺的尾气处理设备，其特征在于：所述油雾喷洒组件包括依次连接的动力装置、压力管路及多个喷油器，所述多个喷油器的出口均为油雾喷洒组件的喷油口；

所述动力装置包括压力桶、活塞，所述压力桶为金属罐体底部的一个凹腔，所述活塞位于压力桶内，所述活塞正对压力桶的顶部，所述吸附油位于金属罐体的底部，所述吸附油的液面高于压力桶的顶部，所述压力桶的顶部设置有一活页，所述活页与压力桶上表面重合区域设置有一进油口，该进油口为油雾喷洒组件的进油口，

所述进油口与压力管路的入口连接，所述尾气入口设置在金属罐体的顶部。

3.根据权利要求2所述的用于CVD/CVI工艺的尾气处理设备，其特征在于：所述压力桶、活塞的材质为高分子材料。

4.根据权利要求3所述的用于CVD/CVI工艺的尾气处理设备，其特征在于：所述动力装置还包括永磁铁、电磁感应线圈、脉冲电流发生器，所述永磁铁固定于活塞的下方，所述电磁感应线圈固定于压力桶中且位于永磁铁下方与永磁铁相对，所述脉冲电流发生器与电磁感应线圈连接。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的一种用于CVD/CVI工艺的尾气处理设备，其特征在于：

所述有机物吸附组件包括多个平行的子吸附组件，多个子吸附组件沿金属罐体高度方向依次设置，每个子吸附组件包括吸附坩埚、设置在吸附坩埚底部的多个相互平行的石墨碳毡条及设置在吸附坩埚底部及侧面的多个通气孔，

由上至下，多个子吸附组件中石墨碳毡条之间的间隙减小，相邻两个子吸附组件上的石墨碳毡条排列方向不同。

6.根据权利要求5所述的一种用于CVD/CVI工艺的尾气处理设备，其特征在于：相邻两个吸附坩埚底部的通气孔错开设置，相邻两个子吸附组件上的石墨碳毡条排列方向垂直。

7.根据权利要求6所述的一种用于CVD/CVI工艺的尾气处理设备，其特征在于：所述吸附坩埚边缘向内开有多个凹槽，所述金属罐体内由上至下设置有数量与吸附坩埚数量相同的承载平台，所述承载平台由设置在金属罐体内壁上与凹槽相配合的凸台组成,所述凸台的上表面均在同一平面上。

8.根据权利要求7所述的一种用于CVD/CVI工艺的尾气处理设备，其特征在于：

所述吸附坩埚高度为50mm～100mm,壁厚为10～15mm，且吸附坩埚外周距金属罐体内壁的距离为10～30mm；所述石墨碳毡条的高度与附坩埚高度相同，所述石墨碳毡条的宽度为10～15mm，所述吸附坩埚上的通气孔直径为10～20mm，且相邻两通气孔中心轴线的距离为30～50mm。