[实用新型]半导体行业的冷凝式异丙醇回收系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体行业的冷凝式异丙醇回收系统，属于异丙醇液化技术领域。

背景技术

半导体行业挥发性有机废气主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序，在这些工序中要用异丙醇等有机溶液对晶片表面进行清洗，异丙醇的挥发是半导体制造业的主要污染源。常用的异丙醇治理方式主要有：催化氧化、吸附、膜分离、冷凝等。目前冷凝法采用常压冷凝，因回收气体中异丙醇浓度较低，回收系统的制冷机中需要提供-60℃的低温来实现回收气体中异丙醇的液化，存在能效比较低，系统运行费用高的问题。

实用新型内容

发明目的：针对现有技术的不足，本实用新型提供一种新型的半导体行业的冷凝式异丙醇回收系统，以提高系统能效比，降低制冷要求，降低系统运行费用。

技术方案：为实现上述发明目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种半导体行业的冷凝式异丙醇回收系统，包括异丙醇气体压缩装置、制冷装置和异丙醇储液罐；所述异丙醇气体压缩装置包括半封闭螺杆式增压压缩机、控制柜和储气罐，所述制冷装置包括半封闭螺杆式制冷压缩机、油分离器、风冷冷凝器、电子膨胀阀和壳管式蒸发器；半封闭螺杆式增压压缩机的吸气阀与待回收异丙醇气体出气口相连，半封闭螺杆式增压压缩机的排气阀与储气罐的进气口相连，储气罐的出气口与壳管式蒸发器的进气口相连，壳管式蒸发器的出液口与异丙醇储液罐相连。

进一步地，所述半封闭螺杆式增压压缩机上设有检测排气温度的温度传感器，所述储气罐设有检测罐内气体压力的压力传感器，所述控制柜分别与所述温度传感器和压力传感器电连接，所述控制柜还分别与所述半封闭螺杆式增压压缩机的吸气阀、排气阀和旁通阀电连接。

进一步地，所述半封闭螺杆式增压压缩机为防爆半封闭螺杆式增压压缩机。

进一步地，所述半封闭螺杆式增压压缩机为采用无油润滑方式的半封闭螺杆式增压压缩机。

进一步地，所述半封闭螺杆式增压压缩机外部设有冷却装置。优选地，所述冷却装置为包裹在所述半封闭螺杆式增压压缩机外壁的冷却用水套。

有益效果：本实用新型的冷凝式异丙醇回收系统，在现有异丙醇回收系统上进行了升级改造，在制冷装置前增加了异丙醇气体压缩装置，将待回收的气体提压后再进行冷却液化。与现有技术相比，具有如下优点：1、将异丙醇气体通过半封闭螺杆式增压压缩机进行压缩后再进入制冷装置的蒸发器进行液化，最终液化温度大幅提高，降低对制冷装置的要求，大大简化制冷装置的结构，能够大幅降低回收系统的初投资和运行费用。2、通过在异丙醇气体压缩装置中设置温度传感器和压力传感器采集实时温度和压力数据，能够实时监控并调节异丙醇气体压缩装置的排气压力和排气温度；并且采用防爆半封闭螺杆式增压压缩机，以及在压缩机外部设置冷却装置，确保了系统运行的高安全性和高可靠性。

附图说明

图1为本实用新型实施例的系统结构示意图。

图中，1：半封闭螺杆式增压压缩机，2：控制柜，3：储气罐，4：壳管式蒸发器，5：半封闭螺杆式制冷压缩机，6：油分离器，7：风冷冷凝器，8：电子膨胀阀，9：异丙醇储液罐，10：压力传感器，11：温度传感器。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐明本实用新型，应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。