[实用新型]晶圆承盘结构

权利要求书

1.一种晶圆承盘结构，其特征在于：包括：

一本体，该本体由交互接邻的一长边及一短边所构成，各该长边及各该短边接邻处具有一转角，该本体具有多个容置槽，该些容置槽供以容置晶圆，该本体的一面的周围环设有一第一挡墙，该第一挡墙由交互接邻的一第一段及一第二段构成，该第一挡墙的第二段沿着该转角延伸设置，该第一挡墙的周缘具有依续接邻的一第一侧、一第一连接面及一第二侧，该第一段的第一连接面的长度为一第一宽度，该第二段的连接面的长度为一第二宽度，该第一宽度大于该第二宽度；

该本体的另一面的周围环设有一第二挡墙，该第二挡墙与该本体之间形成一容槽，该第二挡墙由交互接邻的一第三段及一第四段构成，该第二挡墙的第四段沿着该转角延伸设置，该第二挡墙的周缘具有依续接邻的一第三侧、一第二连接面及一第四侧，该第三段的第二连接面的长度为一第三宽度，该第四段的第二连接面的长度为一第四宽度，该第四宽度大于该第三宽度。

2.如权利要求1所述的晶圆承盘结构，其特征在于：所述第一宽度及该第二宽度的比例为9比7，该第三宽度及该第四宽度的比例为7比9。

3.如权利要求1所述的晶圆承盘结构，其特征在于：所述第一挡墙的该第一段及该第二段于该短边的长度比为1比3，该第二挡墙的该第三段及该第四段于该短边的长度比为1比3；该第一挡墙的该第一段及该第二段于该长边的长度比为3比5，该第二挡墙的该第三段及该第四段于该短边的长度比为3比5。