[实用新型]激光清洗机的结构有效
| 申请号： | 201520335155.0 | 申请日： | 2015-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN204769733U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 章尚仁;江尚伟;陈良波 | 申请（专利权）人： | 全智科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 朱凌 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 清洗 结构 | ||
1.一种激光清洗机的结构，其特征在于，包含：
一用于清洁薄膜式探针卡的激光产生装置；
一位于该激光产生装置的激光照射路径上的供承载薄膜式探针卡的机构平台；
一设于该激光产生装置一侧的供显示激光光点处的影像的影像捕获设备。
2.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该激光产生装置包含一移动装置、及至少一设于该移动装置一端用于清洁薄膜式探针卡的激光头。
3.如权利要求2所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该移动装置包含一双线性滑轨、及一枢设于该双线性滑轨上的移动支架，该激光头得以前后、左右及上下位移。
4.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该激光产生装置内设有一冷却装置。
5.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该机构平台上设有一供控制该激光产生装置及该影像捕获设备的动作的控制装置。
6.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该激光产生装置的充电电压为650V至1000V的交流电。
7.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该激光产生装置的发射振幅波长为532奈米至1064奈米。
8.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该激光产生装置发出的脉冲能量为800微焦耳。
9.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该影像捕获设备为高阶感光耦合数字摄影机。
10.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该薄膜式探针卡为钨合金针、莱钨针、铍铜合金针、钯合金针或白金合金其中之一者。
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