[实用新型]一种用于5吋硅晶圆片磷预扩散的石英舟

权利要求书

1.一种用于5吋硅晶圆片磷预扩散的石英舟，包括舟体，其特征是，所述舟体由四个舟节串联而成，每个舟节包括四根石英棒以及石英支撑架，四根石英棒平行而置，石英棒两端分别烧结在石英支撑架上，四根石英棒在同一平面内的横截面的圆心构成一个圆弧，该圆弧与5吋硅晶圆片的外圆周线重合；

所述石英棒上设有若干装载5吋硅晶圆片的置片槽，置片槽垂直于石英棒的轴线，四根石英棒之间的置片槽位置对应，四根石英棒在同一平面内的置片槽共同承载一片5吋硅晶圆片。

2.根据权利要求1所述的一种用于5吋硅晶圆片磷预扩散的石英舟，其特征是，所述舟体总长为819mm。

3.根据权利要求2所述的一种用于5吋硅晶圆片磷预扩散的石英舟，其特征是，所述石英棒的直径为12mm，长度为176.2mm。

4.根据权利要求1所述的一种用于5吋硅晶圆片磷预扩散的石英舟，其特征是，所述舟体上共有70对置片槽。

5.根据权利要求4所述的一种用于5吋硅晶圆片磷预扩散的石英舟，其特征是，相邻两对置片槽的间距为7.14mm，每对置片槽中，两个置片槽之间的距离为2.58mm。

6.根据权利要求1所述的一种用于5吋硅晶圆片磷预扩散的石英舟，其特征是，所述置片槽的深度为3mm，宽度为0.70mm。

7.根据权利要求6所述的一种用于5吋硅晶圆片磷预扩散的石英舟，其特征是，所述置片槽槽口设有60°的倒角，倒角深度为1mm。

8.根据权利要求1所述的一种用于5吋硅晶圆片磷预扩散的石英舟，其特征是，每个石英支撑架底部设有两个支撑脚，两个支撑脚的底部为圆弧形，且沿舟体轴线对称，两个圆弧的圆心重合在石英扩散炉管的中心轴线上。

9.根据权利要求1所述的一种用于5吋硅晶圆片磷预扩散的石英舟，其特征是，所述舟体两端的石英支撑架上分别烧结有石英把手。