[实用新型]一种新型蓝宝石真空系统有效
| 申请号： | 201520337075.9 | 申请日： | 2015-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN204779928U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;张俊;朱亮;傅林坚;沈兴潮 | 申请（专利权）人： | 内蒙古晶环电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B35/00 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 010070 内蒙古自治区呼*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 蓝宝石 真空 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型蓝宝石真空系统，包括旋片泵和扩散泵；其特征在于，该真空系统中各部件及连接关系为：主炉室经主真空管路接至第一挡板阀，第一挡板阀依次经第一主抽管路、第二挡板阀、第二主抽管路、波纹管连接至旋片泵，第一主抽管路还依次通过第一预抽管路、真空电磁针阀、第二预抽管路接至第二主抽管路；第一挡板阀的出口端与扩散泵入口端相接，扩散泵的出口端经扩散泵支路、第三挡板阀接至第二主抽管路。
2.根据权利要求1所述的真空系统，其特征在于，设第一主抽管路和第二主抽管路的管径为D，第一预抽管路和第二预抽管路的管径为d，则其管径其应该满足条件0.2D≤d≤0.5D。
3.根据权利要求1所述的真空系统，其特征在于，所述第一主抽管路上还设有二通电磁阀。
4.根据权利要求1所述的真空系统，其特征在于，各阀门与管路之间以O形圈实现密封。
5.根据权利要求1所述的真空系统，其特征在于，第一挡板阀的直径为200mm～350mm，第二挡板阀的直径为30mm～50m；第三挡板阀的直径为30mm～50mm。
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