[实用新型]一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针

权利要求书

1.一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针，其特征在于：包括有探针芯、探针管、法兰座、陶瓷座，探针管的一端与法兰座钎焊在一起，探针管的该端还钎焊有冷却水进、出水管，探针芯和陶瓷座焊接在一起，陶瓷座螺纹固定在探针管上，探针管内开设有与冷却水进、出水管相通的冷却水水槽，探针管中内置两根铁氟龙导线，法兰座上通过卡箍和密封圈密封固定有两个法兰电极，两法兰电极的一端伸入至探针管与两铁氟龙导线连接，两铁氟龙导线的另一端与探针芯连接；探针管上还设有离子源探针板接口，探针管上分别套设有压块和压块座，压块、压块座压在离子源探针板接口处，压块座卡在压块上且通过压紧螺母压紧，压块座与压块之间设有O型圈。

2.根据权利要求1所述的一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针，其特征在于：所述的探针管上位于压块座的一侧设有氟橡胶密封圈。

3.根据权利要求1所述的一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针，其特征在于：所述的法兰座、法兰电极、卡箍、密封圈分别采用KF16法兰座、KF16法兰电极、KF16卡箍、KF16密封圈。

4.根据权利要求1所述的一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针，其特征在于：所述的探针管是由一根外径8mm、内径7mm、长度200mm的304抛光管和另外一根外径6mm、内径4mm、长度200mm 的304抛光管钎焊在一起，探针管内部留有直径是0.5mm冷却水水槽。

5.根据权利要求1所述的一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针，其特征在于：所述的探针芯是由两根直径0.5mm钨丝焊接在陶瓷座上，钨丝之间间距是2mm，裸露在外的长度是2mm，陶瓷座外部是M5螺纹，陶瓷座通过M5螺纹结构固定在探针管上。