[实用新型]光化学耦合式低温等离子废气处理系统

权利要求书

1.光化学耦合式低温等离子废气处理系统，其特征在于，该光化学耦合式低温等离子废气处理系统包括现场控制单元(1)，远程控制单元(2)，数据传输单元(3)，PLC服务器单元(4)，执行监测单元(5)和废气处理单元(6)，所述的现场控制单元(1)经数据传输单元(3)通过有线的方式双向连接PLC服务器单元(4)，起到现场操作控制的作用；所述的远程控制单元(2)经数据传输单元(3)通过无线局域网的方式双向连接PLC服务器单元(4)，起到远程操作控制的作用；所述的数据传输单元(3)双向连接现场控制单元(1)，远程控制单元(2)或者PLC服务器单元(4)，起到操作数据传输的作用；所述的PLC服务器单元(4)双向连接现场控制单元(1)或者远程控制单元(2)，起到数据处理的功能；所述的执行监测单元(5)双向连接PLC服务器单元(4)，起到执行与监测数据反馈的作用；所述的废气处理单元(6)双向连接执行监测单元(5)，起到废气处理的作用。

2.如权利要求1所述的光化学耦合式低温等离子废气处理系统，其特征在于，所述的现场控制单元(1)包括主机(11)，显示屏(12)和操作装置(13)，所述的显示屏(12)电性连接设置在主机(11)的右侧；所述的操作装置(13)电性连接主机(11)设置在显示屏(12)的右侧。

3.如权利要求2所述的光化学耦合式低温等离子废气处理系统，其特征在于，所述的操作装置(13)具体采用键盘或者鼠标。

4.如权利要求1所述的光化学耦合式低温等离子废气处理系统，其特征在于，所述的远程控制单元(2)具体采用平板电脑(21)或者智能手机(22)的一种或几种。

5.如权利要求1所述的光化学耦合式低温等离子废气处理系统，其特征在于，所述的数据传输单元(3)具体采用数据传输光缆(31)或者无线WiFi路由器(32)。

6.如权利要求1所述的光化学耦合式低温等离子废气处理系统，其特征在于，所述的执行监测单元(5)具体采用传感器(51)，水泵(52)和电磁气动阀门(53)。

7.如权利要求6所述的光化学耦合式低温等离子废气处理系统，其特征在于，所述的传感器(51)具体采用压力传感器，湿度传感器，VOC检测传感器，温度传感器或者流量传感器的一种或几种。

8.如权利要求1所述的光化学耦合式低温等离子废气处理系统，其特征在于，所述的废气处理单元(6)包括粗滤模块(61)，超微净化模块(62)，折流板除雾器(63)，光学耦合式等离子模块(64)和喷淋清洗模块(65)，所述的粗滤模块(61)，超微净化模块(62)，折流板除雾器(63)和光学耦合式等离子模块(64)从左至右顺序排列安装；所述的喷淋清洗模块(65)分别设置在粗滤模块(61)，超微净化模块(62)或者折流板除雾器(63)的上部位置。