[实用新型]带有离子发生器的风机过滤单元

说明书

技术领域

本实用新型涉及净化领域，特别涉及一种带有离子发生器的风机过滤单元。

背景技术

洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而特别设计的房间。目前，洁净室是通过将若干个风机过滤单元安装在天花板上，以实现对进入洁净室内的空气进行过滤，但是当洁净室内的部分风机过滤单元存在故障不能运行时，洁净室内的工作人员并不能及时检测到，导致外部灰尘、颗粒等进入到洁净室内，造成洁净室内局部气体不干净、最终对产品如半导体器件的收率产生重大影响。

实用新型内容

本实用新型提供一种带有离子发生器的风机过滤单元，以解决现有技术中存在的上述技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种带有离子发生器的风机过滤单元，包括：壳体、安装在所述壳体上的风机、位于壳体内的过滤器以及位于所述过滤器下方的离子发生器和离子传感器，其中，所述离子发生器和离子传感器与控制装置连接。

作为优选，所述离子发生器设置有多组，且围绕所述壳体内侧均匀设置。

作为优选，离子发生器通过一控制端与所述控制装置连接。

作为优选，所述控制装置包括与所述离子传感器连接的计数器，与所述计数器连接的比较器，与所述比较器连接的控制器，所述控制器通过驱动装置与所述控制端连接。

作为优选，所述控制装置还包括显示器，所述显示器与所述控制器连接。

作为优选，所述离子传感器包括：发光元件、辐射镜片、受光镜片以及光接收装置，其中，所述发光元件与所述辐射镜片密封连接，所述受光镜片与光接收装置密封连接。

作为优选，所述风机采用电机驱动。

作为优选，所述风机顶部设置有空气入口。

作为优选，所述离子发生器采用电极。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：本实用新型通过在所述过滤器下方增设离子发生器和离子传感器，并使两者之间通过控制装置连接，所述离子传感器用于检测洁净室内的空气中的离子含量，并传递至控制装置，控制装置根据测得的数值控制离子发生器工作。即，当洁净室内空气中的离子含量超标时，离子发生器工作，对空气中的离子进行净化，确保洁净室内的空气清洁度，进而可以确保产品的良率。

附图说明

图1为本实用新型一具体实施方式中带有离子发生器的风机过滤单元的结构示意图；

图2为图1的AA面剖视图；

图3为本实用新型一具体实施方式中离子发生器的结构示意图；

图4为本实用新型一具体实施方式中控制装置的结构示意图；

图5为本实用新型一具体实施方式中离子传感器的结构示意图。

图中所示：1-风机过滤单元、2-空气入口、8-壳体；

10-风机、12-电机、20-过滤器、30-离子发生器、32-电极、70-控制端；

40-离子传感器、42-发光元件、44-辐射镜片、46-受光镜片、48-光接收装置；

100-控制装置；110-控制器、120-驱动装置、130-显示器、140-比较器、150-计数器。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本实用新型附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

如图1所示，本实用新型的带有离子发生器的风机过滤单元1，包括：壳体8、安装在所述壳体8上的风机10、位于壳体8内的过滤器20以及位于所述过滤器20下方的离子发生器30和离子传感器40，其中，所述离子发生器30和离子传感器40之间通过控制装置100连接。具体地，所述离子发生器30用于检测洁净室内空气中的离子含量，所述控制装置100用于接收离子传感器40的数据，并根据离子传感器40检测到的数值判断是否需要向离子发生器30发送进行工作的指令，继而调节洁净室内空气的清洁度，避免产品受到空气不良的影响。也即是说，当洁净室内空气中的离子含量超标时，离子发生器30工作，对空气中的离子进行净化，确保洁净室内的空气清洁度，进而可以确保产品的良率；当洁净室内空气中的离子含量符合标准时，则离子发生器30不工作，即控制装置100不向离子发生器30发送工作指令。