[实用新型]一种硅片切削液储料箱

权利要求书

1.一种硅片切削液储料箱，包括用于承装切削液的箱体，该箱体的上端设置有回流管路，箱体的底部设置有出料管路，其特征在于：所述箱体内设置有缓冲箱，该缓冲箱内设置有缓冲腔，该缓冲箱的缓冲腔与回流管路连通，该缓冲箱上设置有溢流口，所述缓冲箱内设置有铁粉剔除装置。

2.如权利要求1所述的一种硅片切削液储料箱，其特征在于：所述铁粉剔除装置包括设置缓冲箱内的若干个磁铁，该磁铁放置于缓冲箱的底板上，所述溢流口的高度高于磁铁的高度。

3.如权利要求2所述的一种硅片切削液储料箱，其特征在于：所述磁铁为球形磁铁。

4.如权利要求3所述的一种硅片切削液储料箱，其特征在于：所述箱体的顶部设置有可打开的盖板，所述缓冲箱可拆卸安装于盖板上。

5.如权利要求4所述的一种硅片切削液储料箱，其特征在于：所述盖板的下端面设置有安装嵌槽，所述缓冲箱的顶部设置嵌入嵌槽内的嵌入块，所述嵌入块滑动嵌入到嵌槽内，所述缓冲箱的顶部设置有与回流管路的回流口连通的连通口。

6.如权利要求5所述的一种硅片切削液储料箱，其特征在于：所述回流管路上设置有回流连接箱，该回流连接箱内安装有过滤网。

7.如权利要求6所述的一种硅片切削液储料箱，其特征在于：所述回流连接箱上设置有水平插装口，所述过滤网插装在所述水平插装口内，所述回流连接箱的顶部设置有取渣口。

8.如权利要求7所述的一种硅片切削液储料箱，其特征在于：所述出料管路上设置有出料连接箱，所述出料连接箱内设置有过滤网。