[实用新型]背光源加工的CO2激光多光束高速划槽装置有效
申请号: | 201520355865.X | 申请日: | 2015-05-28 |
公开(公告)号: | CN204657748U | 公开(公告)日: | 2015-09-23 |
发明(设计)人: | 赵裕兴;狄建科;李金泽;王鹏 | 申请(专利权)人: | 苏州德龙激光股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/364 | 分类号: | B23K26/364;B23K26/064;B23K26/067;B23K26/08 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 王玉国 |
地址: | 215021 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 背光源 加工 co2 激光 光束 高速 装置 | ||
1.背光源加工的CO2激光多光束高速划槽装置,其特征在于:激光器(1)的光路输出端布置有扩束镜(3),扩束镜(3)的光路输出端设有45度平面反射镜(4),45度平面反射镜(4)的反射输出端布置有分束镜(5),分束镜(5)的光路输出端布置平凸聚焦透镜(6),平凸聚焦透镜(6)的透射输出端正对于高速精确运动平台(7),所述高速精确运动平台(7)包含X轴传送单元、Y轴传送单元和耐高温铝制基板,X轴传送单元包括X轴滑轨和控制X轴滑轨运动的电机,Y轴传送单元包括Y轴滑轨和控制Y轴滑轨运动的电机,耐高温铝制基板置于Y轴传送单元的Y轴滑轨上,耐高温铝制基板上固定导光板样品,所述45度平面反射镜(4)、分束镜(5)和平凸聚焦透镜(6)作为一个整体固定于X轴传送单元的X轴滑轨上。
2.根据权利要求1所述的背光源加工的CO2激光多光束高速划槽装置,其特征在于:所述激光器(1)与扩束镜(3)之间光路设置有用于控制激光开关光的光闸(2)。
3.根据权利要求1所述的背光源加工的CO2激光多光束高速划槽装置,其特征在于:所述激光器(1)是波长为10.6μm的CO2微秒脉冲激光器。
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