[实用新型]硅片输送装置有效
申请号: | 201520358289.4 | 申请日: | 2015-05-29 |
公开(公告)号: | CN204792734U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 陈东开 | 申请(专利权)人: | 中建材浚鑫科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人: | 王明亮 |
地址: | 214400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 输送 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种硅片输送装置。
背景技术
现有的太阳能硅片生产线上,硅片需要经过若干道工序进行处理,其中很多道工序中需要使用硅片托架,然而将硅片装入硅片托架的工作量较大,目前大多数采用人工操作的方式进行,生产效率低下。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述技术的不足,从而提供一种硅片输送装置,生产效率高。
本实用新型所采用的技术方案是这样的:硅片输送装置,包括硅片存储架、横移机构、输送机构以及硅片堆叠架,所述横移机构包括横移导轨、滑动设置于所述横移导轨上的滑动架、沿着上下方向滑动设置的吸盘、驱动所述吸盘滑动的气缸,所述输送机构包括转动设置的两个转辊、呈环形设置且绕设于两个所述转辊上的两根输送绳。
进一步改进的是:所述硅片堆叠架的下方设置有驱动其逐步上升的升降机构。
进一步改进的是:所述升降机构包括与所述硅片堆叠架相连接的丝杠、驱动所述丝杠转动的电机。
通过采用前述技术方案,本实用新型的有益效果是:通过自动化的方式将硅片输送堆叠,生产效率高。
附图说明
图1是本实用新型示意图。
其中:1、硅片存储架;2、硅片堆叠架;3、横移导轨;4、滑动架;5、转辊;6、输送绳。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式来进一步说明本实用新型。
如图1所示,本实用新型公硅片输送装置,包括硅片存储架1、横移机构、输送机构以及硅片堆叠架2,所述横移机构包括横移导轨3、滑动设置于所述横移导轨3上的滑动架4、沿着上下方向滑动设置的吸盘、驱动所述吸盘滑动的气缸,所述输送机构包括转动设置的两个转辊5、呈环形设置且绕设于两个所述转辊5上的两根输送绳6。
所述硅片堆叠架2的下方设置有驱动其逐步上升的升降机构,所述升降机构包括与所述硅片堆叠架2相连接的丝杠、驱动所述丝杠转动的电机。
工作原理:气缸驱动吸盘上下运动,吸盘下降后将硅片存储架1上的硅片吸起,而后在滑动架4的作用下沿着横移导轨3滑动,移动至输送机构时,气缸驱动吸盘下降,吸盘将硅片放置到输送绳6上进行输送,而后装入硅片堆叠架2内,生产效率高。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征及其优点,本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内,本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造