[实用新型]一种新型玻璃板材溅射腔体结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及玻璃板材生产领域，尤其涉及的是一种针对大尺寸low-e玻璃板材镀膜溅射工序用的新型玻璃板材溅射腔体结构。

背景技术

在玻璃板材生产过程中，需要向玻璃板材表面镀上功能膜，传统的做法是通过溅射手段将膜附着在玻璃板材表面的。参见图1，沿着玻璃的运输方向（箭头方向），传统的溅射腔体包括进口室10、缓冲室20、过渡室30、溅射室40、过渡室30、缓冲室20和出口室50，各室之间通过密封门60隔开，同时各室连接有抽气泵70，缓冲室20和过渡室30的作用是逐步抽取空气，使溅射室形成真空环境。传统的缓冲室（过渡室）约为3立方米，长度约为3.6米，因此无法对长度超过3.6米的大尺寸low-e玻璃板材进行溅射工作。另外，传统的缓冲室（过渡室）的抽气时间过长，一般为30~35分钟，极大的降低了生产效率。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型玻璃板材溅射腔体结构，不但适用于大尺寸low-e玻璃板材镀膜溅射工作，同时其抽气时间快，极大的提高了玻璃板材的生产效率。

本实用新型的技术方案如下：一种新型玻璃板材溅射腔体结构，包括进口室、出口室和溅射室，所述进口室和出口室分别设置在溅射室两侧，所述进口室和出口室均设置有抽气泵，进口室和出口室两端均设置有密封门，其中，所述进口室与溅射室之间、溅射室与出口室之间均设置有抽气缓冲结构，所述抽气缓冲结构包括缓冲腔体，所述缓冲腔体内部设置有多个隔离板，所述隔离板将缓冲腔体分隔形成多个缓冲子腔体，所述隔离板设置有让玻璃板材通过的开口；所述各缓冲子腔体均设置有至少一个抽气泵。

所述的新型玻璃板材溅射腔体结构，其中，所述各缓冲子腔体设置有两个抽气泵，两个抽气泵分别设置在各缓冲子腔体的两侧。

所述的新型玻璃板材溅射腔体结构，其中，所述缓冲腔体长度至少为四米。

所述的新型玻璃板材溅射腔体结构，其中，所述缓冲子腔体内壁设置有填充橡胶层。

本实用新型的有益效果：本实用新型结构简单实用，不但满足大尺寸low-e玻璃板材镀膜溅射工作需求，同时抽气时间短，形成真空环境的速度快，极大的提高了玻璃板材的溅射效率。

附图说明

图1是传统的溅射腔体结构的结构简图。

图2是本实用新型中新型玻璃板材溅射腔体结构的结构简图。

图3是隔离板的结构简图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本实用新型进一步详细说明。

本实用新型公开了一种新型玻璃板材溅射腔体结构，如图2所示（箭头方向为玻璃运动方向），包括进口室10、出口室50和溅射室40，进口室10和出口室50分别设置在溅射室40两侧，进口室10和出口室50均设置有抽气泵70，进口室10和出口室50两端均设置有密封门60。实际应用中，进口室10与溅射室40之间、溅射室40与出口室50之间均设置有抽气缓冲结构，该抽气缓冲结构包括缓冲腔体100，缓冲腔体100内部设置有多个隔离板200，多个隔离板200将缓冲腔体100分隔形成多个缓冲子腔体110，隔离板200设置有让玻璃板材通过的开口210（参见图3），各缓冲子腔体110均设置有至少一个抽气泵70。这种设置结构，将传统的溅射腔体结构的三个室（进口室、缓冲室、过渡室）变成两个室（进口室和缓冲腔体），增大了缓冲腔体的体积，使其适用于大尺寸low-e玻璃的溅射工作；同时在缓冲腔体内部设置多个隔离板，使缓冲腔体分隔成多个体积较小的缓冲子腔体，可以根据玻璃板材的位置控制对应的抽气泵70先后的对各缓冲子腔体110进行抽气，由于缓冲子腔体110的空间较小，因此抽真空的效率得到提高；同时由于各缓冲子腔体110之间是通过隔离板200上的开口210连通的，并非完全隔绝，因此各缓冲子腔体110的气压变化连续，具有极强的缓冲作用，避免玻璃板材从较高的气压环境突然进入较低的气压环境而造成损伤。实际应用中，接近溅射室40的缓冲子腔体110基本处于真空状态，因此基本可以避免气流对溅射室产生冲击而影响溅射效果。

实际应用中，为了提高对缓冲子腔体110抽气的效率，各缓冲子腔体110设置有两个抽气泵70，两个抽气泵70分别设置在各缓冲子腔体110的两侧。