[实用新型]一种压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，其特征在于：包括具有内腔(8)的衬底(1)，所述衬底(1)的上表面通过绝缘层(2)键合有悬置在内腔(8)上方的压敏电阻膜层，所述压敏电阻膜层包括单晶硅片(3)，还包括形成在单晶硅片(3)邻近内腔(8)一侧的重掺杂区(5)、轻掺杂区(4)；在所述单晶硅片(3)的上端对应地设置有贯通至重掺杂区(5)的凹槽(6)，所述凹槽(6)中设置有连接重掺杂区(5)的金属部(7)。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于：所述重掺杂区(5)、轻掺杂区(4)分别设置有多个。

3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于：其中，每个重掺杂区(5)上方的凹槽(6)连通在一起，构成一分布在单晶硅片(3)上端的环形槽。

4.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于：所述凹槽(6)的横截面呈矩形或倒立的梯形。

5.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于：所述绝缘层(2)为二氧化硅。