[实用新型]一种用于真空镀膜的工件夹具和挂具有效
申请号: | 201520364494.1 | 申请日: | 2015-06-01 |
公开(公告)号: | CN204714893U | 公开(公告)日: | 2015-10-21 |
发明(设计)人: | 杜旭颖;阮志明;王大洪;曾德强;陈明胜 | 申请(专利权)人: | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 韶关市雷门专利事务所 44226 | 代理人: | 周胜明 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 真空镀膜 工件 夹具 | ||
技术领域
本实用新型属于真空镀膜技术领域,涉及一种用于真空镀膜的工件夹具和挂具。
背景技术
随着工厂用工成本的不断上升,越来越多的企业希望简化流程,简化操作步骤,减少生产制程中对人的依赖。我司主要产品的夹具之前是通过夹具上的四个孔挂在挂具上,挂具是带挂具钩的,挂一个夹具需要花费6个动作。挂一个夹具需要8秒,下挂需要6秒,上、下挂夹具比较费时。不好下挂,下挂时还经常有员工受伤。每个挂具只能挂7层,每层7个夹具,效率偏低。后续物理气相沉积(PVD)过程中,由于挂具钩二次使用时导电性差,挂具上的挂具钩存在尖端放电等问题,从而影响产品的良率和品质。
目前这种夹具的缺点是:上下挂时间长,作业时工件容易受伤 ,PVD产能偏低,良率偏低,品质偏差,挂盘容易损坏。
实用新型内容
为了克服现有技术的上述缺点,本实用新型提供一种用于真空镀膜的工件夹具和挂具,它设计了母扣结构并尽量缩小夹具尺寸,挂具上设计子扣盘,从而缩短了上下挂时间,具有产能高、良率高、品质好的优点。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种用于真空镀膜的工件夹具和挂具,包括一根挂具杆,在挂具杆上设置有等距排列的若干个子扣盘,在每个子扣盘的左右两侧则各设有一个子扣,该子扣呈倒立的门子型结构,子扣能够与夹具上的母扣扣合在一起,所述母扣呈正立的门子型,工件通过夹具上的夹具孔从而固定在挂具杆上。
本实用新型的有益效果是:通过本实用新型的实施,生产效率大大提高,成本大大降低,PVD良率高,产品品质大大提高。挂具子扣盘PVD时镀不到膜层,导电性良好,也不存在尖端放电,挂一个夹具只需要3个动作,下挂也很方便,因为没有尖的挂钩,作业人员不会受伤,挂具钩也不容易损坏,每个挂具杆可以挂9层,每层8个夹具,通过实施本实用新型,可以节约50%的劳动力,PVD机台的产能也提高了46.9%。
附图说明
图1是本实用新型挂具杆结构示意图;
图2是本实用新型夹具结构示意图;
图3是图1中A的放大图。
图中:1-挂具杆,2-子扣盘,3-子扣,4-夹具,5-母扣,6-工件。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
参见图1~图3,一种用于真空镀膜的工件6夹具4和挂具,包括一根挂具杆1,在挂具杆1上设置有等距排列的若干个子扣盘2,在每个子扣盘2的左右两侧则各设有一个子扣3,该子扣3呈倒立的门子型结构,子扣3能够与夹具4上的母扣5扣合在一起,所述母扣5呈正立的门子型,工件6通过夹具4上的夹具4孔从而固定在挂具杆1上。
通过本实用新型的实施,生产效率大大提高,成本大大降低,PVD良率高,产品品质大大提高。挂具子扣盘2PVD时镀不到膜层,导电性良好,也不存在尖端放电,挂一个夹具4只需要3个动作,下挂也很方便,因为没有尖的挂钩,作业人员不会受伤,挂具钩也不容易损坏,每个挂具杆1可以挂9层,每层8个夹具4,通过实施本实用新型,可以节约50%的劳动力,PVD机台的产能也提高了46.9%。
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